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掃描電鏡的發展歷史

閱讀：1014 發布時間：2019-07-30

　　20 世紀的人們在dian話亭中言語的畫面還歷歷在目，轉眼到了 21 世紀，我們就已經用上了手機，不僅體積小巧，信號質量更好，而且功能愈加豐富。那么在這幾十年的時間里，掃描電鏡有沒有變得更小巧、分辨率更好呢？

　　答案當然是肯定的。首先，我們來簡單回顧一下掃描電鏡的發展歷史：

　　1953 年

　　英國劍橋大學的麥哲馬倫等人研制成功第yi臺實用型掃描電鏡，分辨率達到 50 nm

　　1965 年

　　英國劍橋科學儀器公司研制成功第yi臺商用掃描電鏡 Mark I，其分辨率為 10 nm，從此揭開了掃描電鏡研發、制造和應用的開端

　　1975 年

　　美國將微型計算機引入到掃描電鏡中，用于程序協調控制加速電壓，放大倍數和磁透鏡焦距的關系，二次電子圖像分辨率可達 6 nm

　　2005 年

　　美國發布第yi臺具有超高分辨率的帶有低真空的場發射電鏡，其分辨率為 1.0 nm

　　2010 年

　　冷場掃描電鏡的上市將分辨率提升到了 0.4 nm

　　由此脈絡可以清晰地看處，隨著科技的發展，掃描電鏡的分辨率在逐漸降低并趨近于電子束波長(0.01-0.001 nm)，其好處不言而喻——能夠通過電鏡看清楚更微小的物體，探索更微觀的世界。

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