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ALICAT 基本型氣體質(zhì)量流量控制器

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Alicat的11系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質(zhì)量流量。采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的PID調(diào)校,可達到優(yōu)于100ms的控制速度,并保持穩(wěn)定性。

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:產(chǎn)品描述::

 

美國ALICAT 11系列基本型質(zhì)量流量控制器,美國ALICAT 11系列標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器,采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制
器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。Alicat的11系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質(zhì)量流量。采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的PID調(diào)校,可達到優(yōu)于100ms的控制速度,并保持穩(wěn)定性。

產(chǎn)品特點 

● 低價位產(chǎn)品
● 標(biāo)配模擬控制方式,數(shù)字可選
● 高量程比 200:1
● 響應(yīng)時間快 僅需100ms(可調(diào))

技術(shù)參數(shù) 

介質(zhì)要求:非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類:單種氣體標(biāo)定,請參考背面氣體兼容表

量程:從0-10SCCM 到 0-20SLPM(詳情請咨詢)

量程比:200:1

大顯示流量:102.4%FS

精度:± (0.8%RD+0.2%FS),RD-讀數(shù) FS-滿量程

重復(fù)性:± 0.2% FS

零點漂移&滿量程漂移:0.02% FS / ºC / Atm

預(yù)熱時間:<1s

響應(yīng)時間:100ms(可調(diào))

標(biāo)定工況:25ºC & 100kPa 絕壓

工作溫度:-10 ~ +50 ºC

工作濕度:0-*,無冷凝

標(biāo)準(zhǔn)大工作壓力:1MPa 表壓

標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓:1.2MPa 表壓

中壓選項:2MPa

模擬輸入/輸出信號:0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA

數(shù)字輸入/輸出信號:可選RS-232

供電電壓:7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出,須為15-30 Vdc)

供電電流:250mA

電氣接口:DB15

材質(zhì):302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、鋁、

黃銅、 430FR 不銹鋼、 硅、 玻璃

安裝方式:對位置無要求 防護等級:IP40

應(yīng)用及案例 

● 大學(xué)/研究所
● 環(huán)境監(jiān)測
● 真空鍍膜
● 工業(yè)爐窯
● 半導(dǎo)體
● 汽車制造
● 光伏
● 燃料電池
● 計量
● 過程工藝氣體測量

 


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