• 低加速電壓觀察時分辨率更高，可更好地觀察樣品表面的細微形狀和更有效地降低樣品的損壞
• 全新設計的電子光學系統和信號處理技術實現了高速掃描和低噪音的觀察
• 和以前的常規掃描電子顯微鏡相比＊2自動功能縮短＊3了大約11秒
• 具有在低真空時可以非常好地觀察樣品表面的細微形狀的“UVD(超高靈敏度可變壓力探測器)”＊4
• 具有實現了實時立體成像的“實時立體觀察功能”

場發射掃描電子顯微鏡（FE-SEM）

• 沿用"SU8200系列"的冷場發射電子槍*2
• 采用電子束在Flashing后出現的高亮度穩定區域作為穩定觀察的區間，使得低加速電壓條件下兼備高分辨觀察和分析的性能
  (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
• 采用污染小、高真空樣品倉
• 運用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對比度*2