CVD金剛石的一個重要性質是它具有*的熱導率。在室溫條件下， 金剛石的熱導率是銅的五倍。同時，它本身又是*的絕緣材料。因此可以應用金剛石膜制作X射線光源陽極透射靶材, X射線窗口和X射線熒光屏（摻N/B）等。CVD 金剛石光學性質的應用。金剛石在從紫外到遠紅外的很長波長范圍內有很高的光譜通過性能。加上金剛的機械、熱學性質，使金剛石薄膜成為可在惡劣環境中使用的*的光學窗口材料。

基本參數：

類型	單晶 / 多晶金剛石
級別	力學級、熱學級、光學級、電子學級、納米晶
典型尺寸	多晶：可在φ120mm的晶圓上切割任意尺寸；單晶：大尺寸為7mm*7mm
標準厚度	0.01-2mm
表面處理	Ra<10nm (多晶) Ra<3nm (單晶)
摻雜	摻氮適用于高通量光束（1013-1015 photons/s） 摻硼適用于低通量光束，1010-1012 photons/s

應用案例：

X射線熒光屏

X射線窗口

X射線源透射靶