為了規定半導體器件在潮濕的環境下的可靠性，采用HAST設備進行溫度、濕度和偏壓等惡劣條件來加速潮氣穿透外部保護材料（灌封或密封）或外部保護材料和金屬導體的交接面。此試驗應力產生的失效機理通常與“85/85”穩態溫濕度偏置壽命試驗（見IEC60749-5）相同。試驗方法可以從85℃/85%RH穩態壽命試驗或本試驗方法中選擇。在執行兩種試驗方法時，85℃/85%RH穩態壽命試驗的結果優先于強加速穩態濕

1、測試范圍

為了規定半導體器件在潮濕的環境下的可靠性，采用HAST高壓加速老化試驗箱進行溫度、濕度和偏壓等惡劣條件來加速潮氣穿透外部保護材料（灌封或密封）或外部保護材料和金屬導體的交接面。此試驗應力產生的失效機理通常與“85/85”穩態溫濕度偏置壽命試驗（見IEC60749-5）相同。試驗方法可以從85℃/85%RH穩態壽命試驗或本試驗方法中選擇。在執行兩種試驗方法時，85℃/85%RH穩態壽命試驗的結果優先于強加速穩態濕熱試驗（HAST）。

2、儀器設備

HAST高壓加速老化試驗箱用于評估非氣密性封裝IC器件、金屬材料等在濕度環境下的可靠性。通過溫度、濕度、大氣壓力條件下應用于加速濕氣的滲透，可通過外部保護材料（塑封料或封口），或在外部保護材料與金屬傳導材料之間界面。它采用了嚴格的溫度，濕度，大氣壓、電壓條件，該條件會加速水分滲透到材料內部與金屬導體之間的電化學反應。失效機制：電離腐蝕，封裝密封性。

2.1試驗箱技術參數：

型號：RK-HAST-450

內箱尺寸 （Φ*D）：400*550

外箱尺寸 （W*H*D）：750*1300*1050

溫度范圍：100℃~+155℃    

濕度范圍：65~100R.H    

壓力范圍：0.2~3.5kg/cm2（0.05~0.343MPa）    

溫度波動度：≤±0.5℃    

溫度均勻度：≤±0.5℃（濕度100R.H），≤±1℃（濕度75R.H）    

濕度均勻度：≤±3.0R.H    

濕度波動度：≤±2.5R.H    

外部氣源加壓時間：約5 min    

加壓時間：約45 min    

外殼材質：不銹鋼板高級烤漆，防腐電解板    

內箱材質：SUS316不銹鋼板    

保溫材質：玻璃棉保溫層，阻燃等級A1    

2.2.設備產品特點

可定制BIAS偏壓端子組數，提供產品通電測試

通過電腦安全便捷的遠程訪問

多層級的敏感數據保護

便捷的程序入口、試驗設置和產品監控

試驗數據可以導出為Excel格式并通過USB接口進行傳輸

可提供130℃溫度、濕度85%RH和230KPa大氣壓的測試條件