SX-1934型數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置。它可以測量片狀、塊狀半導體材料徑向和軸向電阻率,測量片狀半導體材料的電阻率和擴散層的薄層電阻(方塊電阻)。
SX1934型數字式四探針測試計
SX-1934型數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置。它可以測量片狀、塊狀半導體材料徑向和軸向電阻率,測量片狀半導體材料的電阻率和擴散層的薄層電阻(方塊電阻)。換上特制的四探針測試夾,還可以以金屬導體的低、中值電阻進行測量。
儀器由電氣箱、測試架等部份組成,測試結果由數字直接顯示。電氣箱主要由高靈敏度直流數字電壓表和高穩定恒流源組成。測試架探頭采用寶石導向軸套和高耐磨碳化鎢探針。故定位準確、游移率小、壽命長。 儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩定性好、測量范圍寬、結構緊湊、使用方便等特點。儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。
訂購指南
編號 品名 主要技術指標 單價(元)
146025 SX-1934型數字式四探針測試計 測量范圍--電阻率:10-4~103Ω-cm,方塊電阻:10-3~104Ω,電阻:10-6~105Ω
可測半導體材料尺寸--直徑:15~100mm,長度:≤400mm
測量方法--軸向、斷面均可
數字電壓表--量程:0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V 誤差:0.2mV量程 ±0.5% 讀數±8字 其它量程 ±0.5% 讀數±2字 輸入電阻:0.2mV,2mV量程 〉106Ω 其它量程: 〉108Ω 分辯率:0.1μV 顯示:3位半數字顯示,極性、過載自動顯示,小數點、單位自動顯示
恒流源--直流電流0~100mA連續可調;量程:10,100μA,1,10,100mA;誤差:±0.5% 讀數±2字
四探針測試探頭--探針間距:1mm;探針機械游移率:±1.0%;探針:碳化鎢 直徑0.5mm;壓力:0~2Kg可調,zui大壓力約2Kg
電 源--220V±10% 50Hz~60Hz;功 耗--〈35W
外形尺寸--400(長)X440(寬)X120(高)mm
工作條件--溫度:23±2℃ 相對濕度:60~70%;工作室內應無強電磁場干擾。不與高頻設備共用電源
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