德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀是集面外振動、面內振動、及表面形貌測量功能于一體的光學測量工作站。該款測振儀可實時測量，無需數據后處理。

德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀產品簡介：

德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀是集面外振動、面內振動、及表面形貌測量功能于一體的光學測量工作站。系統具有高靈活性和精度，以滿足顯微結構未來的發展需要。顯微式激光測振儀可提供準確的三維動態和靜態響應數據，在降低開發和制造成本的同時提高產品性能，從而縮短設計周期，簡化故障處理，提高產品產量。

德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀產品特點：

集多功能于一體的光學測量工作站

實時測量，無需數據后處理

的亞pm位移分辨率

測量速度快，振型可視化顯示

操作界面直觀友好

全自動化測量，易于集成至商用探針臺上

德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀典型應用：

微型結構的面外振動，測量單點振動或者兩點間的相對振動：

如：梳齒驅動器、射頻MEMS開關、FEM有限元模型驗證、CMUT、PMUT、MEMS薄膜壓力傳感器、PZT壓電懸臂梁等

微型結構的面內振動：

如：梳齒驅動器、MEMS扭轉激振器、壓電陶瓷制動器的橫向運動

微型結構的表面形貌：

如：梳齒驅動器、微型齒輪、微流量傳感器、懸臂梁等表面形貌

德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀技術參數：

1、均值是根據所在檔位的*大頻率fmax計算而來。

2、 鏡頭的具體技術參數請見后附表格。

3、隔振臺上每個頻率512次頻閃次數的本底噪聲。 

4、“光滑表面”：自相關相位評估。“粗糙表面”自相關譜包絡線評估

5 、在阻尼振動溫控條件下，對鍍銀、平行對齊平面鏡的50次幅值的均方根值。

6 、稍傾斜平行板(λ/ 20)100次平整度測量結果的標準偏差

7、 平面度的平均值（遵循ISO 1101）

8 、30次階躍高度測量的均方根偏差，校準的階躍高度標稱為50μm。

9、 在重復條件下，將30次連續測量值的標準不確定度與標稱值偏差相加。組合標準不確定度是標稱不確定度和測量結果的標準偏差的二次均方根值。