SEC 公司是在韓國專門從事開發生產X-RAY檢測設備和 掃描電子顯微鏡(SEM)秀的設備研發制造公司。包括LCD驅動IC半導體包裝設備,線型加速機也在研發生成 銷售中。自2006年研發生產的臺式掃描電子顯微鏡(Tabletop SEM)實現了大電鏡的小型化處理,操作便捷以及其人性化的實用 設計,贏得了好評,至今已為客戶供應600臺以上。臺式掃描電鏡的優點:操作簡單,樣品分析迅速,真空待機時間短, 短時間內可獲取高品質圖像等。
根據客戶的需求提供5種型號
安裝和移機操作方便,安裝(30分鐘之內完成),安裝空間小
短時間內獲取高分辨率圖像,真空抽取時間3分鐘以內,卸載時間1分鐘以內
所有型號都可搭載 EDS成分分析系統
維護管理費用低,已經系統管理
性能規格 | |||||
Model | SNE-4500M Plus(A) | SNE-4500M Plus(B) | SNE-4500M | SNE-3000MS | SNE-3200M |
分辨率 | 5nm | 15nm | |||
倍率 | 150,000x | 100,000x | 60,000x | ||
接收器 | SE | SE/BSE | SE | SE/BSE | |
真空度 | High | High/Low | High | High/Low | |
操作軸 | X, Y, R,Z,T: Fully Motorized | X,Y,R,Z,T: Manual | X,Y,R: Manual | ||
規格 | |||||
操作軸 | X, Y: 40mm Z: 0 ~ 40mm R : 360° T: -45 - 90° | X,Y :40mm R: 360° T:0-45° Z: 0-35mm | X, Y:35mm R : 360° | ||
樣品尺寸 | 80mm(D) / 50mm(H) | 80mm(D) / 35mm(H) | 70mm(D) / 30mm(H) | ||
相機 | Top-View Camera | - | - | ||
可變光柵 | 30,50,50,100|im(Variable Type) | 200nm(Single) | |||
電子束類型 | Pre-centered Tungsten Filament Cartridge | ||||
加速電壓 | lkV ~ 30kV (1/ 5/ 10/15/ 20/ 30) - 6 Step | ||||
顯示模式 | 320 x 240 / 640 x 480 / 1,280 x 960 / 2,560 x 1,920 / 5,120 x 3,840 | ||||
自動功能 | Start, Focus, Stigmator, Contrast & Brightness | ||||
圖像樣式 | BMP, JPEG, PNG, TIFF | ||||
真空泵 | Rotary + Turbo Molecular Pump (Fully Automation System) |
半導體/電子/汽車:高分子材料,顯示技術、納米技術,硅片,封裝,pattern PCB,OLEDl應用
金屬/材料:金屬類,陶意類,制藥,纖維,納米管,電池
生物/食品:動植物,生物細菌,化妝品
環境、能源、教育、醫療
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