熱式氣體質量流量計是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個基準級熱電阻(RTD)組成。一個是速度傳感器RH，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器RH被加熱，另一個傳感器RMG用于感應被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。
直接測量氣體的質量，不需要溫度、壓力補償的氣體流量測量儀表，它代表了氣體流量測量的發展趨勢。熱式氣體質量流量計傳感器部分由兩個基準級鉑電阻溫度傳感器組成，采用橋式環路，一個傳感器測量流體溫度，另一個傳感器為加熱元件，維持高于流體溫度的恒溫差，即氣體流過加熱元件時將熱量帶走，帶走的熱量與氣體的流速和氣體的密度成正比。為了保持兩個溫度傳感器的固定溫差需要電路對加熱元件提供更多的功率，電路中輸出功率的大小與流體的質量有關，由此測量流量。
熱式氣體質量流量計由一體式流量轉換器、流量傳感器組成。按流量傳感器的型式分為：插入式和管段式熱式氣體質量流量計。
熱式氣體質量流量計應用1、氧氣、氮氣、氫氣、氯氣及多組分氣體測量。（乙炔氣體除外）。2、高爐煤氣、焦爐煤氣測量。 3、煙道氣測量。4、沼氣、水處理中的曝氣和氯氣測量。5、壓縮空氣測量。6、天然氣、液化氣、火炬氣等氣體流量測量。7、電廠高爐的一次風、二次風流量測量。8、礦井下通風或排風系統流量測量。
