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日立 鎢燈絲掃描電子顯微鏡 SU3800 SU3900

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產(chǎn)品介紹 日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴展性,結(jié)合眾多的自動化功能,可高效發(fā)揮其高性能。SU3900標配多功能超大樣品倉,可應(yīng)對大型樣品的觀察。

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鎢燈絲掃描電子顯微鏡 SU3800 SU3900_看圖王.web.jpg



產(chǎn)品介紹:


集優(yōu)異性能、操作簡便性、多樣化功能于一身

日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴展性,結(jié)合眾多的自動化功能,可高效發(fā)揮其高性能。SU3900標配多功能超大樣品倉,可應(yīng)對大型樣品的觀察。


產(chǎn)品特點:


①SU3900標配多功能超大樣品倉,可應(yīng)對大型樣品的觀察

■樣品臺可搭載超大/超重樣品


       通過更換樣品提示,可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品

       選配樣品交換倉,可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品,大大提高了工作效率

       具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*

       紅外CCD探測器,提高了樣品臺移動的安全性

■支持全視野移動。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察


       與GUI聯(lián)合,可配備樣品倉室導航相機

       覆蓋整個可觀察區(qū)域

       支持360度旋轉(zhuǎn)



②隨著各種自動化功能的強化,操作性能得到了進一步優(yōu)化。

■一個鼠標就能夠輕松操作的簡約GUI

■各種自動化功能

       自動調(diào)整算法經(jīng)改良后,等待時間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)

       提高了自動聚焦精度

       搭載Intelligent Filament Technology(IFT)

■Multi Zigzag,可實現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察

■Report Creator,可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報告



③可提供滿足測試需求的應(yīng)用解決方案

■可滿足多種觀察需求的探測器

       搭載高靈敏度UVD*,支持CL觀察

       高靈敏度半導體式背散射電子探測器,切換成分/凹凸等多種圖像

■配備了多功能超大樣品倉,可以搭載多種配件

>■SEM/EDS一體化功能*

■三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*

■支持圖像測量軟件Image pro

*配件



礦物的觀察分析案例


       顯示了鋯石晶體在相同視野下的觀察結(jié)果。在BSE圖像中很難看清鉻濃度的緩和偏差。但是,在CL圖像中可以確認到暗 色區(qū)域是對應(yīng)于錯濃度較高的區(qū)域。




應(yīng)用圖例


金屬材料



陶瓷材料



電子零件



生物/醫(yī)藥品





產(chǎn)品規(guī)格



ITEMSU3800SU3900
二級電子分解能3.0nm(加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式)
15.0nm(加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式)
背散射電子分解能4.0nm(加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式)
倍率×5~×300,000(照片倍率*1)
×7~×800,000(實際顯示倍率*2)
加速電壓0.3kV~30kV
低真空度設(shè)定6~650Pa
圖像位移±50µm(WD=10mm)
樣品尺寸200mm直徑300mm直徑
樣品臺
X0~100mm0~150mm
Y0~50mm0~150mm
Z5~65mm5~85mm
R360°連續(xù)
T-20°~+90°
可觀察范圍130mm直徑(R并用)200mm直徑(R并用)
可觀察高度80mm(WD=10mm)130mm(WD=10mm)
電機驅(qū)動5軸電機驅(qū)動
電子光學系統(tǒng)
電子槍中心操控式鎢絲發(fā)射
物像鏡頭光圈4孔可動光圈
檢測系統(tǒng)二級電子檢測器、高靈敏半導體背散射電子檢測器
EDX分析WDWD=10mm(T.O.A=35°)
圖像顯示自動光軸調(diào)整功能自動光束調(diào)整(AFS→ABA→AFC→ABCC)
自動光軸調(diào)整(實時級別對齊)
自動調(diào)整光束亮度
自動圖像調(diào)整功能自動亮度和對比度控制(ABCC)
自動對焦控制(AFC)
自動標記和焦點功能(ASF)
自動燈絲飽和度調(diào)整(AFS)
自動光束對準(ABA)
自動啟動(HV-ON→ABCC→AFC)
操作輔助功能光機旋轉(zhuǎn)、動態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能、數(shù)據(jù)輸入(點對點測量、角度測量、文本)、預設(shè)放大、樣品臺位置導航功能(SEM MAP)、光束標記功能
配件■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機、高靈敏度操作低空探測器(UVD)、紅外CCD探測器、攝像機導航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺移動限制解除功能、EDS集成
配件(外部裝置)能量散射X射線分析儀(EDS)、波長色散X射線分析儀(WDS)、各種外部功能臺(加熱臺、冷卻臺、牽引臺)



* 1.指正放大倍率為127 mm x 95 mm(4x5照片尺寸)的顯示尺寸。


* 2.放大倍率為509.8 mm x 286.7 mm(1,920 x 1,080像素)的顯示尺寸。



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