蔡司鎢燈絲掃描電鏡EVO MA 15的問世，將鎢燈絲掃描電鏡的發展帶入了全新的時代，超大樣品室為各類繁雜的樣品以及繁重的工作提供了輕松的解決方案，自動化的5軸樣品臺和大的X、Y、Z軸跟蹤掃描以及可變壓力的檢測模式使得EVO MA 15能夠廣泛適用于各類樣品的檢測工作，EVO MA 15作為一款研究級掃描電鏡能夠為您提供良好的視覺圖像和廣泛的應用領域。
主要特點：
技術參數：
| 分辨率： | 3.0nm@ 30KV(SE and W) | 4.0nm@ 30KV(VP with BSD) |
| 加速電壓 | 0.2—30KV | |
| 放大倍數 | 5—1000000x | |
| 探針電流 | 0.5PA-5μA | |
| X-射線分析工作距離 | 8.5mm 35度接收角 | |
| 低真空壓力范圍 | 10—400Pa (LS15:環掃模式10-3000Pa) | |
| 工作室 | 365mm(φ)×275mm(h) | |
| 5軸優中心自動樣品臺 | X=125mm Y=125mm Z=50mm T=-10°- 90°R=360° | |
| 較大試樣高度 | 145mm | |
| 大試樣直徑 | 250mm | |
| 系統控制 | 基于Windows 7 的SmartSEM操作系統 | |
| 存儲分辨率 | 32,000 x 24,000 pixels | |
產品應用：
◆掃描電鏡(SEM)廣泛地應用于金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機械加工)和非金屬材料(化學、化工、石油、地質礦物學、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等檢驗和研究。在材料科學研究、金屬材料、陶瓷材料、半導體材料、化學材料等領域進行材料的微觀形貌、組織、成分分析，各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分析和失效分析，材料實時微區成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線掃描分布測量，晶體、晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶粒取向測量。
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