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F60薄膜厚度測量儀

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Filmetrics F60-t 系列就像我們的 F50產品一樣測繪薄膜厚度和折射率,但它增加了許多用于生產環境的功能。 這些功能包括凹槽自動檢測、自動基準確定、全封閉測量平臺、預裝軟件的工業計算機,以及升級到全自動化晶圓傳輸的機型。

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F60 薄膜厚度測量儀





生產環境的自動測繪

Filmetrics F60-t 系列就像我們的 F50產品一樣測繪薄膜厚度和折射率,但它增加了許多用于生產環境的功能。 這些功能包括凹槽自動檢測、自動基準確定、全封閉測量平臺、預裝軟件的工業計算機,以及升級到全自動化晶圓傳輸的機型。


不同的 F60-t 儀器根據波長范圍加以區分。 較短的波長 (例如, F60-t-UV) 一般用于測量較薄的薄膜,而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。






選擇Filmetrics的優勢

  •   桌面式薄膜厚度測量的

  •   24小時電話,和在線支持

  •   所有系統皆使用直觀的標準分析軟件

附加特性

  •  嵌入式在線診斷方式

  •   免費離線分析軟件

  •  精細的歷史數據功能,幫助用戶有效存儲,重現與繪制測試結果











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