便攜式黃綠光表面檢查燈LUYOR-3325G采用了36w的高功率led作為光源,能夠發出570-580nm的黃綠光,光斑均勻,產品輕便,可以手持著檢查產品表面的顆粒物、劃痕、手印等產品缺陷,也可以配合臺式支架作為臺式表面檢查燈進行長時間檢查。
便攜式黃綠光表面檢查燈LUYOR-3325G采用了36w的高功率led作為光源,能夠發出570-580nm的黃綠光,光斑均勻,產品輕便,可以手持著檢查產品表面的顆粒物、劃痕、手印等產品缺陷,也可以配合臺式支架作為臺式表面檢查燈進行長時間檢查。
堅固耐用、維護成本低的便攜式黃綠光表面檢查燈LUYOR-3325G進行光學晶圓檢測,與 100 瓦高壓汞燈相比,具有以下優勢:
1.輕便:沒有繁重電源箱,手持操作,方便快捷。
2.省時:即可即用,無需等待。
3.經濟:光源壽命長達50000小時,無須頻繁更換燈泡。
4.光斑均勻,檢查效率高,減少漏檢。
5.安全:長時間運行,不發燙,沒有燙傷危險。
6.高效:led光源,發光效率高,節省能源。
7.光譜純正:不會產生紫外線。
上圖:交流供電的便攜式表面檢查燈LUYOR-3325G
哪些類型的晶圓可以用黃綠光表面檢查燈LUYOR-3325G檢查?
半導體和芯片制造中的晶圓檢測
太陽能行業和光伏發電的晶圓測試
所有晶圓尺寸的視覺晶圓表面測試:25mm(1英寸)、38mm(1.5英寸)、51mm(2英寸)、75mm(3英寸)、100mm(4英寸)、125mm(5英寸)、150mm(6英寸)、200mm(8英寸)、300mm(12英寸)、450mm(18英寸)
外延晶圓的檢測
單晶硅片和多晶晶片的光學測試
硅片表面的目視測試
也可以檢查方形晶圓
原晶圓和結構化晶圓的測試
外延晶圓(EPI晶圓)和SOI晶圓表面分析
用黃光燈測試金晶圓
使用紫外燈目視檢查晶體硅片
所有材料晶圓的光學表面檢測:硅、鍺、碳化硅、砷化鎵、藍寶石、玻璃等。
SEMI標準晶圓的目視檢測
鍵合晶圓、膠帶晶圓的質量檢查
視覺晶圓檢測也適用于裸晶圓、薄晶圓和扇出晶圓
強曲面晶圓(eLWB等)的光學質量控制和檢測等。
上圖:電池供電款表面檢查燈LUYOR-3325GD
顆粒檢測-減少晶圓生產/半導體生產中的污染
除了晶圓檢測過程中的目視表面檢測,即通過黃光燈或綠光燈進行部分自動化的晶圓檢測外,許多半導體制造商還有進一步的要求:
使用測試燈檢查系統中的顆粒污染
使用黃光表面檢查燈或UV-LED紫外線燈進行粒子檢測
晶圓生產過程中潔凈室中質量控制的顆粒檢查
搜索并查找用于清潔半導體生產中機器的顆粒
在持續的質量控制過程中清潔和保持生產設備的清潔
在大多數情況下,顆粒檢測只能通過人工檢查進行,因此可以使用便攜式表面檢查燈、綠燈或紫外線燈進行檢查。
上圖:表面檢查燈LUYOR-3325G檢查晶圓表面顆粒物
上圖:表面檢查燈LUYOR-3325G檢查玻璃屏幕的劃痕和顆粒物
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