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三坐標測量機在機械、電子、儀表、塑膠等行業廣泛使用。三坐標測量機是測量和獲得尺寸數據的zui有效的方法之一，因為它可以代替多種表面測量工具及昂貴的組合量規，并把復雜的測量任務所需時間從小時減到分鐘，這是其它儀器而達不到的效果。
一、日常維護與保養
1、開機前檢查并放掉空壓機、過濾器、儲氣罐、管道中的水。在陰雨天時，每四小時就要檢查一次。
2、在打開空調的情況下，用擦拭紙和*擦拭測量機導軌(機器外罩和主、輔腿只能用水擦拭)。并清潔室內環境，并保持清潔。
3、檢查測量機導軌區域內是否有障礙物，測座旋轉時測頭是否會碰撞臺面或工件。
4、檢查測量機各電纜、氣管、地線等連接正常、可靠。
5、檢查室內溫、濕度是否在要求范圍內(20℃±2℃，40%～65%)。
6、打開氣源開關，檢查輸入的氣源壓力是否符合要求(≥0.55Mp)。
7、打開UPS電源，檢查電源是否正常(220V±10%)。
8、保持好檢測間的溫度條件和濕度，避免放假前用水擦洗地板等清潔工作，應在上班時打掃。
二、定期保養
每月：
1、測量典型零件，檢查測量機精度是否有很大的變化，能否滿足要求。在季節變化或環境條件變化時尤其需要檢查。
2、檢查過濾器是否清潔。檢查供氣管道是否清潔。
每季：
1、清洗過濾器濾心。
2、季節變更時，檢查環境條件溫、濕度變化情況。
3、檢測典型零件，確定測量機精度變化情況。
4、檢查探測系統即測頭精度。估算測頭壽命，適當準備備件(尤其是觸發式測頭)。
每年：
1、建議每年進行測量機精度校準。
2、檢查壓縮空氣管道、儲氣罐的安全性等。
3、對測量機氣浮塊、傳動帶、電機等機械部分進行檢查。
4、清潔光柵尺，檢查讀數頭工作狀態。
5、對控制系統進行清潔，檢查內部電纜頭是否松動。
三、基本保養
1、三坐標測量機對環境要求比較嚴格，應嚴格控制溫度及濕度；
2、三坐標測量機使用氣浮軸承，理論上是磨損結構，但是如果氣源不干凈，有油．水或雜質，就會造成氣浮軸承阻塞，嚴重時會造成氣浮軸承和氣浮導軌劃傷，后果嚴重。所以每天要檢查機床氣源，放水放油。定期清洗過濾器及油水分離器。還應注意機床氣源前級空氣來源，（空氣壓縮機或集中供氣的儲氣罐）也要定期檢查；
3、三坐標測量機的導軌加工精度很高，與空氣軸承的間隙很小，如果導軌上面有灰塵或其它雜質，就容易造成氣浮軸承和導軌劃傷。所以每次開機前應清潔機器的導軌，金屬導軌用航空汽油擦拭（120或180號汽油），花崗巖導軌用無水乙醇擦拭。
4、切記在保養過程中不能給任何導軌上任何性質的油脂；
5、定期給光桿、絲桿、齒條上少量防銹油；
6、在長時間沒有使用三坐標測量機時，在開機前應做好準備工作：控制室內的溫度和濕度(24小時以上)，在南方濕潤的環境中還應該定期把電控柜打開，使電路板也得到充分的干燥，避免電控系統由于受潮后突然加電后損壞。然后檢查氣源、電源是否正常；
7、開機前檢查電源，如有條件應配置穩壓電源，定期檢查接地，接地電阻小于4歐姆。
四、測量機內部維護保養
1、導軌的擦拭和光柵的保養
導軌必須保持干凈，要用浸過干凈航空汽油或無水乙醇的脫脂棉或絲綢布來擦拭；在裝、卸零件時要特別注意，防止磕碰導軌。
光柵尺的保養直接影響讀數的精度，Z軸光柵尺暴露在外部環境中，而X和Y向光柵尺被外罩蓋。所以要格外注意Z軸光柵尺，防止劃痕。應用浸過干凈航空汽油絲綢布來擦拭，并使其干燥。
2、過濾器的清洗
要定期清洗過濾器，當發現過濾器的濾芯變色，就要清洗。取下塑料杯、濾網，用中性洗滌劑（我們用四氯化碳溶液）清洗，再用干凈的氣體吹干。重新裝上后，測量工作壓力，有必要就調節它。
3、電控系統的維護
電控系統是三坐標測量機的核心部分，應該說是比較穩定的，但不容忽視對它的檢查和維護。長期使用，一些接口、插片可能會松動。
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