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【儀器網 行業應用】氦質譜檢漏儀顧名思義是一款進行檢漏檢測的設備。詳細來講，氦質譜檢漏儀是氣體工業名詞術語，是指通過利用氦氣或者氫氣作示漏氣體，通過以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。在工業生產也實驗研究過程中有著較廣泛的應用。以下，根據網上資料，對氦質譜檢漏儀的工作原理進行如下簡述：
因為氦氣的本底噪聲低，其分子量及粘滯系數較小，所以當設備存在漏孔時，氦氣較容易通過漏孔并擴散出去。此外，由于氦系惰性氣體，不會對設備產生額外腐蝕損壞，所以一般進行相關檢測分析時，常用氦作示漏氣體。通過將這種氣體噴到接有氣體分析儀，調節氣體分析儀到僅對氦氣反應的工作狀態的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
據了解，氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里*的一種技術，由于其檢漏效率高，并且操作簡便直接，對于檢測結果的反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質量分析器是根據質量分析的原理，使用氦氣作為氣體泄漏的機理的氣密性測定器由離子源、分析器、收集器、冷陰極離子化規格構成的質量分析室、抽氣系統和電氣部分等構成從質譜室的燈絲放出的電子，在室內前后振動，通過室內的氣體和泄漏孔與進入人室內的氦氣沖撞，電離成正離子，這些氦離子在加速電場下進入人的磁場，用洛倫茲力偏轉，形成圓弧狀的軌道，加速氦噴霧法、氦吸引法是氦質量分析裝置常用于電阻爐檢測泄漏的兩種方法。
由于資料有限，因而上述內容并不全面，歡迎補充。
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