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光電流基礎測試探針臺

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  • 上海昊量光電設備有限公司
  • 2020-09-28 17:58:25
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【簡單介紹】

T5500B基礎測試探針臺,測試精度高,操作方便。

【詳細說明】

產品簡介

T5500B探針臺具有較高的性價比。較低的泄漏電流~50fA使得其易于測試6英寸的圓晶和破損的樣品。同時具有較強的拓展性,客戶可以根據自己的需求選用加熱吸盤,高倍顯微鏡,底座和屏蔽箱等。


產品優勢

?精度高

?測試穩定

?操作方便

?多種測試技術

?低泄漏電流


技術規格

樣品臺


尺寸

6英寸,低泄漏電流 <50fA

X-Y行程

100mm×100mm

X-Y行程精度

5μm

Z行程

10 mm

Z行程精度

1μm

顯微鏡行程

x-y 50mm×50mm 精度5μm



顯微鏡

顯微鏡

放大倍數90倍 樣品臺<100μm

CCD 相機

放大倍數300倍 樣品臺<50μm

高倍顯微鏡

放大倍數1000倍 樣品臺<10μm



CCD相機

2.1M像素 CCD C-mount 1/3 英寸

15 英寸LCD顯示器


針座平臺

行程6mm 精度3μm

真空平臺 行程6mm 精度3μm


探針

M5BG

M1.5BT

尺寸:0.5×25mm

尺寸:0.5×30mm

漏電精度 :<10fA

針尖直徑:5μm

針尖直徑:5μm



應用

IV測試


CV測試 可靠性測試


    
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