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XperRam Photocurrent光電流成像光譜系統(tǒng)

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  • 上海昊量光電設(shè)備有限公司
  • 2020-09-28 19:48:12
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【簡單介紹】

用于材料表面光電流分布特性的激光共聚焦光電流成像光譜系統(tǒng),帶低溫探針臺。

【詳細(xì)說明】

XperRam Photocurrent光電流成像光譜系統(tǒng)


產(chǎn)品簡介

Nanobase的光電流成像系統(tǒng)XperRam Photocurrent Mapping system 利用了顯微成像掃描技術(shù),對樣品表面做一個快速掃描。產(chǎn)生的光電流信號通過探針引到電流源表,再顯示在軟件界面,做成成像圖顯示樣品表面電流分布。

光電流成像系統(tǒng)Photocurrent Mapping System 又稱為掃描光電流顯微成像系統(tǒng),用來檢測材料光電流強(qiáng)度分布的設(shè)備,主要用來測量光電材料的光電響應(yīng)信號和表征材料的光電特征。XperRam Photocurrent Mapping system 光電流成像系統(tǒng)將光電材料對于光信號響應(yīng)的不均勻性以可視化和量化的方式顯示出來。該系統(tǒng)可以研究光電探測器的量子效率,器件的電阻分布特征,研究太陽能電池光生電流的不均勻性,研究器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性,以及光電材料界面,半導(dǎo)體結(jié)區(qū)的品質(zhì)分布等。

整個系統(tǒng)的個構(gòu)成如下圖,包含光源(激光器或者連續(xù)光源),顯微鏡,激光掃描振鏡,數(shù)字源表,探針臺和計算機(jī)軟件等。激光通過掃描振鏡,擴(kuò)束鏡,經(jīng)過顯微鏡聚焦到樣品表面,激光激發(fā)產(chǎn)生光電效應(yīng)(電流),電流信號通過探針引出至電流源表,再讀出至電腦軟件,掃描時,振鏡是通過偏振光控制器控制,激光的光斑再樣品的XY方向上掃描移動,軟件記錄每一個激光聚焦光斑的位置和其對應(yīng)的電流值,在軟件的一側(cè),同步描繪出光電流成像圖,顯示了樣品的電流分布。


功能描述

l 光電流成像(Photocurrent Measurement and Imaging )

光電流系統(tǒng)探針臺 三星光電院定制的光電流系統(tǒng)


光電流成像圖和電流計數(shù)值

簡易光電流平臺(Side plate) Positioner Holder 探針

產(chǎn)品特點

? 超快掃描成像(大于1000譜/S)

? 超緊湊結(jié)構(gòu)(光電流掃描成像和顯微鏡一體式設(shè)計)

? 成本低(客戶僅需要在原來的探針臺或者拉曼設(shè)備上做改造就可以,不需要額外購買平移臺,這是振鏡掃描的優(yōu)勢所在)

? 可視化和人性化軟件(定制研發(fā)了電流源表輸出和成像掃描視覺窗口,客戶在一個界面實現(xiàn)光電流數(shù)據(jù)和成像mapping的對比比較方便)

? 可擴(kuò)展增加其它波長的激光器,增加拉曼光譜,熒光光譜成像系統(tǒng)等

? 可增加高低溫恒溫器,鎖相放大器,斬波器等


基本參數(shù)

激光器(光源)

l 可配置1~3個激光器,窄線寬激光器用于拉曼光譜測試和光電流測試

l 波長范圍: 400~1550nm (典型的為 VIS: 405nm/532nm/633nm, NIR :1550nm)

l 可選配一個光纖接口用于接入外部激光器光源

l 可選配超連續(xù)譜白光激光器(400nm~2400nm)

顯微鏡

l 奧林巴斯顯微鏡:BX61 (正置)(可根據(jù)客戶要求選配)

l 反射式/透射式LED照明

l 物鏡:標(biāo)配(40X, NA=0.75) 選配:多種倍率和超長焦距物鏡

l 透過率:>60% (360nm~1000nm)

掃描模塊

l 掃描面積:200um×200um

l 掃描精度: 小于10nm

l 步進(jìn):<50nm

l 掃描速度:>1000 譜/秒

電流

l 測量范圍:1pA – 1A

l 準(zhǔn)確度: 0.04%

l 電流源表:Keithley 2400

探針臺

l 可根據(jù)客戶要求定制

其它

l 低溫恒溫器(2.2K)/高溫?zé)崤_(1500℃)

l 根據(jù)客戶要求定制探針臺

l 可選配斬波器,前置放大器,鎖相放大器等提高系統(tǒng)靈敏度


探針臺參數(shù):

探針臺

6寸真空吸附卡盤,

光譜范圍

750px-1到150000px-1

XY方向移動范圍

150 x 150mm, 分辨率5um FOV:200µm x 200µm@40X物鏡

Z方向移動范圍

上/下10mm, 分辨率1um

探針頭

金,鎢

高精度定位器

PH-C15, 10fA leakage current 4SET










應(yīng)用領(lǐng)域

石墨烯,二維材料,半導(dǎo)體工業(yè),結(jié)晶度分析,太陽能電池,儲能材料,探測器光電性能檢測,晶圓體分析,探測器檢測,器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性。


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