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QQ交談SID4-UV-HR 高分辨率 紫外 波前傳感器/ 波前分析儀
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- 上海昊量光電設(shè)備有限公司
- 2023-02-10 11:56:05
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【簡(jiǎn)單介紹】
【詳細(xì)說明】
SID4-UV-HR 紫外/
【SID4-UV-HR簡(jiǎn)介】
隨著光波探測(cè)技術(shù)的發(fā)展，各種波前傳感器應(yīng)運(yùn)而生。從測(cè)量原理上可以分成兩類：一類是根據(jù)幾何光學(xué)原理，測(cè)定波前幾何像差或面型誤差，主要有Shack－Hartmann 波前傳感器，曲率傳感器和Pyramid 波前傳感器等；另一類是基于干涉測(cè)量原理，探測(cè)波前不同部分的干涉性，來獲取波前信息，主要有剪切波前傳感器和相位獲取傳感器等。剪切干涉儀波前傳感器不需要精確的參考標(biāo)準(zhǔn)鏡;它們結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，抗力強(qiáng)，條紋穩(wěn)定。它是測(cè)量光學(xué)元件和光束波前質(zhì)量的一種很好的替代傳統(tǒng)干涉儀的方法。作為低可至波長(zhǎng)250 nm的高分辨率波前傳感器，SID4-UV-HR非常適合于紫外光學(xué)測(cè)量，包括用于光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用紫外激光表征，以及透鏡和晶圓的表面面型檢測(cè)。
【關(guān)于】
Phasics是一家專注于高分辨率波前傳感技術(shù)的法國公司。Phasics公司憑借其在測(cè)量方面的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)與的波前測(cè)量技術(shù)為客戶提供全面的高性能波前傳感器。
一、 SID4-UV-HR 波前傳感器主要特點(diǎn)
低至190nm波長(zhǎng)感光靈敏
1 nm RMS高相位靈敏度
355 x 280超高相位取樣分辨率
二、SID4-UV-HR 波前傳感器產(chǎn)品功能
波前像差測(cè)量
基于四波剪切技術(shù)，Phasics 的波前傳感器同時(shí)提供具有的高分辨率的相位和強(qiáng)度測(cè)量。 波前傳感器與其光束分析軟件相結(jié)合，可提供完整的激光診斷：波前像差、強(qiáng)度分布、激光參數(shù)（M2、束腰尺寸和位置等）。Phasics 的波前分析儀可以放置在光學(xué)裝置的任何一點(diǎn)，無論光束是準(zhǔn)直的還是發(fā)散的。作為低可至波長(zhǎng)250 nm的高分辨率波前傳感器，SID4-UV非常適合于紫外光學(xué)測(cè)量，包括用于光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用紫外激光表征，以及透鏡和晶圓的表面面型檢測(cè)。 |  |
三、SID4-UV-HR 波前傳感器應(yīng)用領(lǐng)域
紫外光學(xué)測(cè)量| 光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用紫外激光表征| 透鏡和晶圓的表面面型檢測(cè)|
四、SID4-UV-HR 波前傳感器主要規(guī)格
| 波長(zhǎng)范圍 | 190 - 400 nm |
| 靶面尺寸 | 13.8 x 10.88 mm2 |
| 空間分辨率 | 38.88 µm |
| 取樣分辨率 | 355 x 280 |
| 相位分辨率 | 1 nm RMS |
| 精度 | 10 nm RMS |
| 取樣速度 | 30 fps |
| 實(shí)時(shí)處理速度 | > 3 fps (全分辨率下)* |
| 接口種類 | CameraLink |
五、更多參數(shù)選型
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