超快激光并行加工專用液晶空間光調(diào)制器
【簡(jiǎn)單介紹】
【詳細(xì)說(shuō)明】
并行加工專用液晶
液晶空間光調(diào)制器(SLM,Spatial Light Modulator)是一種可以通過(guò)輸入的灰度信息改變液晶兩端的控制電壓,實(shí)現(xiàn)液晶分子,改變?nèi)肷涔獾墓獬滩畹钠骷3旒す獠⑿屑庸S靡壕Э臻g光調(diào)制器可以改變激光的振幅、相位、等信息,可以靈活的實(shí)現(xiàn)激光的分束功能,同時(shí)可以控制多光束的焦點(diǎn)位置,光束數(shù)量,光束間隔等,從而實(shí)現(xiàn)高效精準(zhǔn)的超快激光并行加工。基于空間光調(diào)制器的計(jì)算全息技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)靈活可控的光場(chǎng)分布,可以被精確的調(diào)制成預(yù)設(shè)的多焦點(diǎn)圖案陣列,從而實(shí)現(xiàn)高效的并行加工,可以大大的提高加工效率。同時(shí)利用空間光調(diào)制器可以方便的生成貝塞爾光束,可以實(shí)現(xiàn)微環(huán)形結(jié)構(gòu)的單次曝光式加工。
美國(guó)Meadowlark Optics公司的1920x1152(P1920)系列空間光調(diào)制器的損傷閾值可達(dá)200W/cm2,配備水冷模塊,保證液晶的溫度恒定,深度恒定。同時(shí)該系列的空間光調(diào)制器具有具有分辨率高(1920x1152)、大面陣(17.7x10.6mm)、高填充因子(96%)、高刷新速率(300Hz@1064nm)、高相位穩(wěn)定性(<>
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