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大負載桌腿型、主動氣浮隔振光學平臺（MAPS series）
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- 上海昊量光電設備有限公司
- 2023-02-11 09:07:35
- 381
【簡單介紹】
【詳細說明】
產品介紹視頻
產品簡介
明立精機的MAPS 系列產品的除振系統是在精巧的形狀中加入垂直與水平用的氣壓驅動器而構成的組裝型除振裝置。使用1 組4 個的話，對應全自由度的振動，能發揮出除振性能、制振性能、定位性能等。
產品特點
MAPS 可以消除被動除振的困難頻段的振動
標準的MAPS 可除振10 噸以上的設備
搭載工件等移動裝置也不會搖擺
MAPS 具有精確定位及精密校平性能
MAPS 是小型易操作的組合型系列
MAPS 是構成精密設備的一個重要部分
應用領域
半導體制造，等
主要規格和參數表
附注
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