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X射線/XUV/EUV光柵
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- 上海昊量光電設備有限公司
- 2023-02-11 10:07:24
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【簡單介紹】
【詳細說明】
X射線光柵是非常精密的光學器件，對制作工藝的要求很高，尤其是制作高質量的二維X射線光柵的難度更大，因此，高質量的二維X射線光柵倍受相關科研人員的期待。
■憑借的線倍頻技術，可以實現(xiàn)精確到5nm的X射線束聚焦
■基于電子束光刻的制造工藝，實現(xiàn)多階閃耀光柵的設計加工，光學效率高
■金剛石光學器件，輻射穩(wěn)定性高
哈特曼光柵
Hartmann wavefront sensor plates
Description
- 2D arrays of holes for wavefront sensing
- Etched into silicon using deep reactive ion etching technology
- Possibilities for high-Z materials (Au, W)
關于訂制要求，詳情可咨詢上海昊量光電設備有限公司。
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