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上海昊量光電設備有限公司

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非接觸式方塊電阻測試儀

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  • 上海昊量光電設備有限公司
  • 2023-02-11 11:09:56
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【簡單介紹】

非接觸式方塊電阻測試儀昊量光電新推出用于導電薄膜和薄金屬層方塊電阻測量的非接觸式方阻測量儀EddyCusTFSeries,這款非接觸式方塊電阻測量儀可以非接觸式實時測量,對導電薄膜和金屬方塊電阻精確測量,表征已被隱藏和封裝的導電層,并把測量數(shù)據(jù)保存和導出

【詳細說明】

非接觸式方塊電阻測試儀


昊量光電新推出用于導電薄膜和薄金屬層方塊電阻測量的非接觸式方阻測量儀EddyCus TF Series,這款非接觸式方塊電阻測量儀可以非接觸式實時測量,對導電薄膜和金屬方塊電阻精確測量,表征已被隱藏和封裝的導電層,并把測量數(shù)據(jù)保存和導出。


非接觸式方塊電阻測試儀主要測試對象:

  • 鍍膜建筑玻璃,如LowE

  • 顯示器,觸摸屏和平板顯示器

  • OLED和LED

  • 智能玻璃

  • 石墨烯層

  • 光伏晶圓和電池

  • 半導體晶片

  • 金屬化層和晶圓金屬化

  • 電池電極

  • 導電涂布紙和導電紡織品


非接觸式單點方阻測試儀EddyCus TF Lab 2020SR


EddyCus TF Lab 2020SR是非接觸式單點薄層電阻測量系統(tǒng)。該裝置包含一個渦流傳感器組,感應弱電流到導電薄膜和材料。試樣中的感應電流產(chǎn)生與測量對象的片電阻相關的電磁場。電渦流技術不依賴于表面特征或形貌。此外,它不需要如已知的2或4點探針測試(2PP, 4PP)或霍爾效應或范德波測量一樣進行任何形式的充分的樣品接觸或備樣。它既不需要設置測試結構,也不受表面粗糙度或非導電封裝或鈍化層的影響。此外,測量不會對被測薄膜產(chǎn)生物理影響。渦流儀器不存在機械磨損,使用壽命長。它的獨立性與接觸質(zhì)量和它的高速允許實現(xiàn)高重復性和準確性,有利于在研發(fā)和測試實驗室的各種薄膜的系統(tǒng)質(zhì)量保證。EddyCus工具可以由具有各種數(shù)據(jù)記錄和導出功能的SURAGUS軟件驅動,也可以由SURAGUS軟件開發(fā)套件驅動的客戶軟件驅動。

軟件和設備控制:

  • 非常用戶友好的軟件

  • 直觀的觸摸顯示導航

  • 實時測量板材電阻和層厚

  • 軟件輔助手動映射選項

  • 各種數(shù)據(jù)保存和導出選項


非接觸式方塊電阻測試儀產(chǎn)品規(guī)格表

Measurement technologyNon-contact eddy current sensor
SubstratesFoils, glass, wafer, etc.
Substrate area8 inch / 204 mm x 204 mm (open on three sides)
Max. sample thickness / sensor gap3 / 5 / 10 / 25 mm (defined by the thickest sample)
Thickness measurement range of metal films (e.g. copper)2 nm – 2 mm (in accordance with sheet resistance ())
Device dimensions (w/h/d)11.4" x 5.5" x 17.5" / 290 mm x 140 mm x 445 mm
Weight10 kg
Further available featuresSheet resistance measurement / metal thickness monitor
 VLSRLSRMSRHSRVHSR

6 decades are measurable by one sensor, but with slightly affected accuracy
Range [Ohm/sq]0.0001 – 0.10.1 – 100.1 – 10010 – 20001,000 – 200,000
Accuracy / Bias± 1%± 1 – 3%± 3 – 5%
Repeatability (2σ)<><><>
VLSR – Very Low Sheet Resistance , LSR – Low Sheet Resistance , MSR – Medium Sheet Resistance , HSR – High Sheet Resistance , VHSR – Very High Sheet Resistanc

非接觸式方阻成像儀EddyCus TF Map 2530SR




EddyCus TF Map 2530SR是一種非接觸式薄層電阻映射系統(tǒng)。該設備配備了一個運動的渦流傳感器,每次掃描可測量高達90000 (300 x 300)測量點的方塊電阻。由于這種技術不需要與標本進行物理接觸,該設備可以在飛行運動中進行測量。此外,它具有很高的準確性,因為它是獨立于任何接觸質(zhì)量。樣品中測量點的高密度確保了沒有遺漏任何效果或缺陷。此外,綜合分析功能支持生產(chǎn)和研發(fā)實驗室中各種薄膜的系統(tǒng)質(zhì)量保證。

產(chǎn)品規(guī)格:

Measurement technologyNon-contact eddy current sensor
SubstratesWafer, glass, foils etc.
Max. scanning area12 inch / 300 mm x 300 mm (larger upon request)
Edge effect correction / exclusion2 – 10 mm (depending on size, range, setup and requirements)
Max. sample thickness / sensor gap3 / 5 / 10 / 15 mm (defined by the thickest sample)
Thickness measurement of metal films (e.g. aluminum, copper)2 nm – 2 mm (in accordance with sheet resistance ())
Scanning pitch1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 mm (other upon request)
Measurement points per time (square shaped samples)100 measurement points in 0.5 minutes
10,000 measurement points in 3 minutes
Scanning time8 inch / 200 mm x 200 mm in 1 to 10 minutes (1 – 10 mm pitch)
12 inch / 300 mm x 300 mm in 2 to 6 minutes (2.5 – 25 mm pitch)
Device dimensions (w/h/d)31.5" x 19.1" x 33.5" / 785 mm x 486 mm x 850 mm
Weight90 kg
Further available featuresMetal thickness imaging, anisotropy and sheet resistance sensor




 VLSRLSRMSRHSRVHSR

6 decades are measurable by one sensor, but with slightly affected accuracy
Range [Ohm/sq]0.0001 – 0.10.1 – 100.1 – 10010 – 2,0001,000 – 200,000
Accuracy / Bias± 1%± 1 – 3%± 3 – 5%
Repeatability (2σ)<><><>
VLSR – Very Low Sheet Resistance , LSR – Low Sheet Resistance , MSR – Medium Sheet Resistance , HSR – High Sheet Resistance , VHSR – Very High Sheet Resistance

便攜式方塊電阻測試儀

EddyCus TF便攜式1010SR專用于工業(yè)環(huán)境中的接觸片電阻測量。它使各種行業(yè)的手工質(zhì)量保證成為可能。

Measurement technologyEddy current sensor
Measurement modeRealtime at constant distance  / contact
SubstratesGlass, foils etc.
Substrate sizesFlat samples > 150 mm x 150 mm (6 inch x 6 inch)
Curved editions are available for several applications (windshields etc.)
Measurement spot / high sensitivity zone40 mm diameter (1.6 inch)
PowerLithium ion battery up to 20 h
Sheet resistance range (five setups available)Type very low:    0.001 – 0.1 Ohm/sq
Type low:             0.04 – 0.1 Ohm/sq
Type standard:        0.3 – 30 Ohm/sq
Type high:               0.3 – 50 Ohm/sq
Type very high:       0.3 – 100 Ohm/sq
Thickness measurement of thin films (e.g. copper)Additional feature, available range is 5 nm – 500 µm (in accordance with sheet resistance)
Emissivity rangeAdditional feature, available range is 0.003 – 0.5
Accuracy (for planar solid surfaces, e.g. glass)0.001 – 50 Ohm/sq:  <>
50 – 100 Ohm/sq:     <>
Dlay2.8 inch colored touch screen
Device dimensions (w/h/d)3.5" x 7" x 1.9" / 87 mm x 178 mm x 48 mm
Weight340 g
InterfacesBluetooth (optional) + data center


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上海昊量光電設備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商,產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學測量設備、光學元件等,涉及應用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學研究、國防、、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等;可為客戶提供完整的設備安裝,培訓,硬件開發(fā),軟件開發(fā),系統(tǒng)集成等服務。

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