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SLM 266激光器

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頂尖科儀（中國）股份有限公司
2021-03-19 16:05:06
207

【簡單介紹】

【詳細說明】

SLM 266激光器

SLM 266系統是一種單頻全固態激光器，應用于深紫外領域，如晶圓表面檢測、光譜儀校準和全息應用。頻譜帶寬<80MHz，接近其理論的傅里葉極限。該激光器提供8-10ns的短脈沖，其衍射極限光束下M²＜1.7，重復頻率1到15kHz。在波長為266nm下平均功率高達500mW以上，并且擁有超穩定的脈沖痕跡和與傳統激光器相比的1.8m的相干長度。由于CW模式的單頻種子源，連續的激光脈沖保持在同一相位，允許穩定的干涉模式，所以可以應用到直接曝光光刻上。另外500 mW的平均功率允許短的曝光時間，實現大的吞吐量。

特點：

● 單縱模

● TEM00光束

● Q開關全固態激光器

● 波長266 nm

應用：

○ 晶圓表面檢測

○ 光譜儀校準

○ 光刻

○ 光致發光

○ 全息成像

○ 干涉測量

○ 拉曼光譜

○ 度量衡學

可選項：

○ 圖形用戶界面

○ Labview庫文件

○ CDRH符合性快門

典型參數&光斑輪廓

激光頭尺寸：

系統尺寸：

電學參數：


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近紅外光譜儀,微型光譜儀,超快激光,太赫茲,氦鎘激光,橢偏儀

SLM 266激光器

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