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IXION 193 SLM激光器

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頂尖科儀（中國）股份有限公司
2021-03-19 17:11:00
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【簡單介紹】

【詳細說明】

IXION 193 SLM激光器

IXION 193 SLM系統是一種單頻全固態激光器，用于光學計量、193nm步進光學校準或高功率ArF*的帶寬控制。其小于80MHz的頻譜帶寬接近其理論傅里葉極限。該激光器的中心波長可在185至194nm范圍內定制，并可在購買時預先配置為固定波長。作為高精度光譜儀的一種選擇，系統具有0.001 nm光譜精度。這可以大限度地控制激光的光譜調諧。

特點：

● TEM00光束

● 二極管泵浦

● Q開關全固態激光器

● 單頻波長193.368nm

應用：

○ 光譜校準

○ 光刻

○ 干涉度量

○ 193nm計量

○ 半導體檢測

○ 準分子的種子源

可選項：

○ 圖形化用戶界面

○ Labview數據庫

○ 精確的光譜儀

○ 中心波長：185-194nm

○ CDRH規格快門

產品參數：

型號	IXION 193 SLM
波長	193.368 nm
平均功率	10 mW
脈沖寬度	8-12 ns
單脈沖能量	1.6 uJ
重復頻率	1-15 kHz
M²	＜1.6
光譜帶寬	80 MHz
相干長度¹⁾	＞2 m
光譜可調諧性	＞80 GHz

1）50%對比

所有數據均在重復頻率為6 kHz下測得

波長穩定性&光斑輪廓

光譜特性&功率穩定性

激光頭尺寸

系統尺寸（L×W×H），重量
激光頭	795×710×154mm³	74 kg
電源箱（包括水冷箱）	600×600×600mm³	78 kg
電學參數
工作電壓	85-264VAC
頻率	47-63Hz
功耗	650W typ


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