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氮分子激光器

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  • 頂尖科儀(中國)股份有限公司
  • 2021-03-19 17:51:40
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【簡單介紹】

【詳細說明】

氮分子激光器

PLASMA公司是世界上的氣體激光器生產商,其產品主要特點是高質量、長壽命。

氮分子激光器的發射帶在UV波段,主要是337.1nm 357.7 nm315.9 nm

PLASMA 擁有橫向和縱向激勵的脈沖氮分子激光器,由于其*的性能(波長337nm、脈沖寬度小于10ns、平均功率0.01-1W),被廣泛應用于微電子領域如光掩模、復雜的集成電路、薄膜電阻的生產、處理。由于其短波長更易聚焦得到小光斑,因此被用于加工亞微米量級的元件。此外,還被用于多種感光材料的高效曝光光源。

性能參數:

型號

NPL-3

LGI-505

LGI-511

波長, μm

0.337

0.337

0.337

脈沖能量, μJ

30

120

240

平均功率, mW
風冷
水冷

3


40
120



240

模式

TEMoo

TEMmn

TEMmn

脈沖重復頻率:
風冷
水冷

1-100


5-400
5-1000

1-1000

脈沖寬度, ns

5

6-8

6-8

光束直徑, mm

2

5

5

發散角, mrad

-

7

12

制冷

風冷

風冷
水冷

水冷

平均壽命, h

5000

5000

5000

尺寸, mm

590×255×155

激光頭:840×343×238
電源:484×510×212

1140×525×345

重量, kg

10

激光頭:35
電源:35

105

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