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飛秒激光加工系統(tǒng) FemtoFAB

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頂尖科儀（中國）股份有限公司
2021-03-19 18:54:25
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【簡單介紹】

【詳細(xì)說明】

飛秒激光加工系統(tǒng) FemtoFAB

FemtoFAB是一款工業(yè)用飛秒激光微加工設(shè)備。配置選定后，根據(jù)客戶特定激光加工應(yīng)用調(diào)試，包括對任何材料激光切割，激光劃片，激光鉆孔，3D激光銑削（使用的激光峰值功率>2.4GW）。系統(tǒng)使用Class 1激光安全防護(hù)罩，通過單個SCA工程軟件窗口控制。

FemtoFAB提供激光同步移動控制和/或集成掃描振鏡系統(tǒng)控制，對不同工業(yè)微加工應(yīng)用，提供優(yōu)質(zhì)的速度和精度參數(shù)。產(chǎn)品在立陶宛設(shè)計和裝配。

產(chǎn)品特點：

· 高加工速度，350000px/s

· 加工不同物體亞微米分辨率

· 飛秒加工模式具有小熱影響區(qū)

· 直驅(qū)亞微米精度位移臺

· 使用高性能掃描振鏡精細(xì)激光束控制

· 點數(shù)控制（單點到350KHz）

· 激光脈沖和移動物體在空間和時間上同步

· 原版軟件界面控制所有集成的硬件設(shè)備

性能參數(shù)：

樣品特性
材料	固體材料，液態(tài)聚合物
尺寸（mm）	150×150×150
光束成型和控制
脈沖選擇	集成、自動控制
掃描振鏡	10m/s掃描速度，5×5
聚焦	高NA非球面鏡或物鏡，焦長1.45-18.4mm
SLM（選配）	1920×1080,15.36mm×8.64mm，16bit，反射式
位置
類型	XYZ，線性電機(jī)，交叉定位，空氣軸承（選配）
加工速度	350mm/s
工作區(qū)域（mm）	160×160
分辨率（nm）	1
位置精度（nm）	±300
重復(fù)性（nm）	±50
穩(wěn)定度（nm）	3
樣品支架	真空夾頭
激光參數(shù)
激光介質(zhì)	Yb:KGW
波長	1028±5nm
功率（W）	4（6，8，10選配）
振蕩器輸出功率（W）	0.7-1.5
脈沖能量（mJ）	1
重頻（KHz）	200（600,1000選配）
脈寬	<200fs-10ps（可調(diào)）；<80fs（振蕩器）
光束質(zhì)量	M2<1.2
輸出脈沖穩(wěn)定性	<1%RMS
諧波產(chǎn)生器
諧波	SH（515nm），TH（343nm）選配，FH（258nm）選配
轉(zhuǎn)換效率（@200KHz）	>50%（SH），>30%（TH）選配，>10%（FH）選配
軟件控制
功率控制	激光輸出，電動衰減器
位移臺控制	2.5D微加工，3D XYZ指令
控制界面	算法窗口，虛擬或GUI操縱桿
圖形或矢量格式	.bmp，.plt

產(chǎn)品應(yīng)用：

· 微光學(xué)

· 光伏產(chǎn)業(yè)

· 多光子聚合

· 生物醫(yī)學(xué)技術(shù)傳感器

· 其他精細(xì)微加工任務(wù)


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