硬件技術參數: F值范圍 | 可檢測幾乎任何的F值 | 可檢測的光學元件直徑(平行光) | 幾乎任何直徑的光學元件(選用合適配件) | 測試設置 | 雙或單通道 | 標準透鏡陣列的直徑和焦距 | (0.2mm, 11mm), (0.2mm, 22mm), (0.3mm, 41mm). Others: (0.13mm, 7mm). Special | 相機接口 | 千兆以太網,USB2,USB3 | 分辨率(0.2mm直徑透鏡陣列和USB3相機),9mm入瞳直徑 | 45x45(0.2mm直徑陣列);69x69(0.13直徑陣列) | 分辨率(千兆相機透鏡陣列),15mm入瞳直徑 | 75x75(0.2mm直徑陣列);115x115(0.13直徑陣列) | 非球面元件測量 | 測量縱向球面像差15%的變化 | 澤尼克多項式計算RMS重復性 | 1-2nm rms(λ/600-λ/300)at 633nm | 波前測量RMS重復性 | <λ/200 | 準確度 | λ/10-λ/100(取決于校準元件的準確度) | 子瞳動態測量范圍 | ±50 λ | 波長范圍 | UV(0.193-1.1μ),Vis(0.193-1.1μ), 0.95-1.7μ | 光源 | LEDS,LDS,鹵素燈 | 軟件(控制和分析) | Sensoft | 采樣頻率 | 15-500Hz(相機決定) | 處理頻率 | 5-150Hz(相機和電腦決定) | 準直器步進電機供電需求 | 12V/2A DC | 觸發 | TTL 5V |
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