數(shù)字式四探針測試儀
型號：SZT-2000 儀器資料： SZT-2000型數(shù)字式四探針測試儀是根據(jù)四探針測 試原理研究成功的多用途的綜合測量裝置，它可以 測量棒狀、塊狀半導(dǎo)體材料的電阻率和半導(dǎo)體擴散 層的薄層電阻進行測量，可以從10-6--105Ω—cm全 量程范圍檢測硅的片狀、棒狀材料的電阻、薄層電 阻，是硅材料質(zhì)量監(jiān)測的必需儀器。 儀器為臺式結(jié)構(gòu)，分為電氣箱、測試架兩大部分， 用戶可以根據(jù)測試需要安放在一般工作臺或者 工作臺上，測試架由探頭及壓力傳動機構(gòu)、樣品架 組成，耐磨和使用壽命長的特點。探頭內(nèi)設(shè)有彈簧 壓力裝置，壓力從0—2Kg連續(xù)可調(diào)，測試架設(shè)有手 動和電動兩種裝置供用戶選購。 儀器電氣箱主要由高靈敏的直流數(shù)字電壓表和高穩(wěn) 定的恒流源組成，測量結(jié)果由數(shù)字直接顯示，儀器 有自校量程，可以方便地對儀器的電氣性能進行校 驗。 儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、測量 范圍廣、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點，儀器適用于 半導(dǎo)體材料廠、器件廠、科學(xué)研究部門、高等院 校，對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試及工藝檢測。 儀器主要技術(shù)指標： 1．范圍：電阻率10-4—103Ω—cm，可擴展至105 Ω—cm，分辯率為10-6Ω—cm 方塊電阻10-3—103Ω/□ 電阻10-6—105Ω 2．可測半導(dǎo)體尺寸：直徑Φ15—150mm 3．測量方式：軸向、斷面均可（手動測試架） 4．數(shù)字電壓表（1）量程0.2mV、2mV、20mV、 200mV、2V （2）測量*.2mV檔±（0.3%讀數(shù)+8字） 2mV檔以上±（0.3%讀數(shù)+2字） （3）輸入阻抗0.2mV、2mV擋105Ω 20mV檔以上>108Ω （4）顯示31/2位數(shù)字顯示，0—1999 具有極性和過載自動顯示，小數(shù)點、單位自動顯示 5．恒流源：（1）電流輸出：直流電流0—100mA 連續(xù)可調(diào)，由交流電源供給 （2）量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 五檔 （3）電流誤差：±（0.3%讀數(shù)+2字） 6．四探針測試探頭（1）探頭間距：1mm（2） 探針機械游率：±0.3% （3）探針：Φ0.5mm（4）壓 力：可調(diào) 7.測試架： （1）手動測試架：探頭上升及下降由手動操 作，可以用作軸向和斷面的單晶棒和硅片測試。 （2）電動測試架：探頭的上升和下降由電動操 作，設(shè)有自動控制器控制，探頭上升時間1S—99S 可調(diào)，探頭下降時間1S—99S可調(diào)，壓力恒定可調(diào) （由砝碼來設(shè)定）同時設(shè)有腳踏控制裝置由腳踏開 關(guān)控制探頭上下運動。 8.電流：220V±10%50HZ或60HZ：功率消耗 <35W 9．外形尺寸：電氣箱130×110×400mm |
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