探針輪廓儀（臺(tái)階儀）DEKATK150
集40多年的探針輪廓技術(shù)創(chuàng)新于一身，該系統(tǒng)在行業(yè)內(nèi)的表現(xiàn)遙遙，以重現(xiàn)性*和標(biāo)準(zhǔn)掃描范圍zui大而著稱。它提供各種各樣的配置和附加選項(xiàng)，用于程序化測(cè)量、低探針力表征和細(xì)節(jié)分析
臺(tái)階儀 Dektak 150 表面輪廓儀（探針式）
規(guī)格：
測(cè)試技術(shù)：探針輪廓技術(shù)
測(cè)試功能：二維表面輪廓測(cè)試
樣品視場(chǎng)：640*480像素，USB；17 inc 平板顯示器
探針傳感器：低慣量傳感器（LIS 3）
探針壓力：使用LIS 3傳感器：1至15 mg
使用N-lite傳感器：0.03至15 mg
探針選項(xiàng)：探針曲率半徑可選范圍：50 nm至25 um;
高徑比針尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um
樣品載物臺(tái)：手動(dòng)X/Y/@：100*100 mm, 360度旋轉(zhuǎn)，可手動(dòng)校平；
可選Y自動(dòng)移動(dòng)載物臺(tái)，100 mm行程，1um重現(xiàn)性，0.5 um分辨率；
可選X-Y自動(dòng)移動(dòng)載物臺(tái)，150 mm行程；
1um重現(xiàn)率，0.5 um 分辨率
計(jì)算機(jī)系統(tǒng)： 主機(jī)使用celeron或者semprom處理器
軟件：Dektak軟件
臺(tái)階檢測(cè)軟件
可選應(yīng)力測(cè)量軟件
可選三維Vision分析軟件
可選縫合軟件
減震裝置：可選桌式震動(dòng)隔離裝置
可選臺(tái)式震動(dòng)隔離裝置
性能
掃描長度范圍 55mm（2.1英寸）
每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn) zui多12萬數(shù)據(jù)點(diǎn)
zui大樣品厚度 高達(dá)90 mm （4英寸），取決于配置
zui大晶圓尺寸 150 mm（6英寸）
臺(tái)階高度重現(xiàn)性 6埃
垂直范圍：標(biāo)準(zhǔn)524um（0.02英寸）；可選1mm
垂直分辨率：zui大1A（6.55um垂直范圍下）
尺寸：292 mm *508 mm*527 mm
重量：34 kg
電源要求：
輸入電壓： 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ
Dektak150型是Veeco公司2007年正式推出的型探針式表面輪廓儀（臺(tái)階儀）產(chǎn)品，主要應(yīng)用于薄膜厚度測(cè)量、樣品表面形貌測(cè)量、薄膜應(yīng)力測(cè)量、樣品表面粗糙度/波紋度測(cè)量、以及樣品表面三維形貌測(cè)量等眾多領(lǐng)域。
Dektak 150集四十余年的技術(shù)積累和創(chuàng)新于一身，為滿足用戶不同應(yīng)用方向的需要提供了多種可選配置。堅(jiān)固的鋁質(zhì)材料鑄成的機(jī)身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復(fù)精度，并降低了地板噪音對(duì)測(cè)量的干擾?；赪indows XP的Dektak隨機(jī)配備軟件系統(tǒng)界面友好，為用戶提供了完善的分析功能。“一鍵式”操作方式使得測(cè)量工作簡(jiǎn)單易行。通過選配三維成像附件套裝還可以*地?cái)U(kuò)充儀器的功能。
