配置
四探針測試儀主機、ZLKJ-2B型測試臺、9D型探頭、ZLK710F型數據處理器
21000/套
配置
四探針測試儀主機、ZLKJ-52型測試臺、DNT-1型探頭、ZLK710F型數據處理器
22300/套

技術指標：
1、測量范圍：電阻率：0.001－200Ω.cm(可擴展)
薄層電阻:0.01-2000Ω/口(可擴展)
可測晶片厚度：≤3.00mm
2、恒流電源:電流分為100mA、1mA、10mA、 100ma 四檔 ；連續可調；穩定度優于0.3% 
3、數字電壓表：量程：0－199.99mV;分辨率：0.01mV精度：±0.1%
顯示：四位半紅色發光管數字顯示。極性、小數點、超量程自動顯示；
4、模擬電路測試誤差：(用1、10、100、1000 ?精密電阻測量)≤±0.3%±1字;
5、整機準確度：(用0.01至180Ω.cm硅標樣片測試)≤4%
6、微計算機功能：
A 鍵盤控制測量取數，自動控制電流換向和電流、電壓探針的變換，并進行正、反向電流下的測量，顯示出平均值
B 鍵盤控制數據處理，按內存公式計算出薄層電阻或電阻率平均值以及百分變化。
C 鍵盤控制打印全部測量數據。包括測量條件，各次測量平均值、zui大值、zui小值，百分變化等數據。
7、外形尺寸：電氣主機：360mm×320mm×100mm； 微計算機：300mm×210mm×105mm
8、儀器重量：電氣主機：約4kg；測試架(J-2A型):約5kg;微計算機:約2.5kg;
9、電源：AC 220V±10%,50Hz,功率<25W
10、測試環境：溫度23±2℃；相對濕度≤65％；無高頻干擾；無強光照射。