進口MEMS干燥系統 /超臨界干燥儀 /超臨界CO2干燥儀 /臨界點干燥儀

未來化學科技有限公司供應進口的超臨界CO2干燥儀/臨界點干燥儀/MEMS干燥系統，用于微電子機械系統（MEMS）的干燥，可同時處理多個樣品（晶圓），zui大尺寸可達8" （8英吋），樣品處理時間小于一小時。

超臨界CO2干燥儀，用于*的集成電路和微電子機械系統（MEMS）。使用液體和超臨界二氧化碳高效干燥/清洗微電子機械系統晶圓。利用CO2在超臨界點附近無表面張力的特性，解決了MEMS生產中產生的靜摩擦，可避免污染晶圓上的微粒。分離器可收集干燥過程流出的溶劑。

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