一、美國ALICAT MCD雙向質量流量控制器應用領域
- 雙向測量氣體的質量流量、體積流量、壓力和溫度
- 控制來自壓縮氣體或真空泵的氣體的質量流量或體積流量
- 控制流經氣體的壓力或背壓
- 控制密閉系統內壓力(自帶排氣)
二、美國ALICAT MCD雙向質量流量控制器產品優勢
具備ALICAT常規產品所有的優勢，如響應時間快，操作簡單，控制精度高，重復性高等
三、美國ALICAT MCD雙向質量流量控制器產品性能
標準性能
- 多功能數字顯示屏
- 顯示多種測量參數：質量流量、體積流量、溫度和壓力
- 低壓損
- 無需預熱
- Viton密封
- 8針mini-DIN電信號接口
- 標準圓形電源接口
- RS-232多點式數字信號輸入&輸出
- 0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA 多種模擬信號輸入&輸出可選
- 可調節PID算法
- 內置30種氣體可選
- 200:1 量程可調比
- NPT接頭
- 有條件的終身質保
可選性能
- 累加器
- 6針、DB9或DB15電信號接口
- ProfiBUS數字信號輸出
- RS-485數字信號輸出
- 第二種模擬信號輸出
- 遠程顯示屏
- EPDM密封
- NeSSI本體
- 氧氣清潔
- SAE接頭
- VCR, VCO接頭
- 5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
- 額外標定點
- 定制混個氣體（zui多4種）
- 不銹鋼閥門
- 集成式電位計控制
四、美國ALICAT MCD雙向質量流量控制器產品參數
- 可控制從-0.5 ～ +0.5 SCCM 到-3000 ～ +3000 SLPM的滿量程的任何流量，量程可調比為200：1
- 精度&重復性：±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.) (注：該處F.S.為雙向滿量程之和)
- 控制響應時間：＜100毫秒
- zui大入口壓力：145 psig (MCD & MCDS)、50 psig (MCDW)
