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KSI 9300系列光學隔振平臺設備

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BaseMate系列9300隔振平臺是為較大型設備提供靈活多樣的隔振選擇而設計的。通過16個經過時間考驗的設計模塊,可以根據客戶的應用需要找到較*的配置方案。BaseMate平臺系統相比于其他地基平臺系統具有*的。

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BaseMate系列9300隔振平臺是為較大型設備提供靈活多樣的隔振選擇而設計的。通過16個經過時間考驗的設計模塊,可以根據客戶的應用需要找到較*的配置方案。BaseMate平臺系統相比于其他地基平臺系統具有*的。

BaseMate設計特點是通過一個二級平臺擺錘技術和空氣耦合系統結合,提供*的隔振控制。首平臺,是一個低剛度/高性能主動空氣水平支持系統,具有極低的垂直固有頻率,已達到大化垂直隔振。第二平臺使用三線擺組合裝置與空氣耦合系統聯動使用,提供穩定的隔振源,達到極低的水平固有頻率。二者結合黏滯阻尼,大化隔振效率。由于BaseMate的擺錘組合裝置去掉了其他廠家都采用的邊角垂直提升,其產生的共振被消除,所以能夠立即達到*的隔振效果。

為了方便和穩定性考慮,自動水平儀和高度控制合并在一起。標準的BaseMate平臺是一個3英寸厚的剛性阻尼環氧復合“三明治”,其中1/2英寸厚的上下兩個鋼板,中間夾著2英寸厚的具有我們*的技術的約束阻尼墊層。

剛性可以與3英寸厚的固體鋼板相比較,但是重量只是鋼板的1/3,同時阻尼效果更好。平臺的結構增強了非剛性較大儀器的基底,降低重心高度,以增強穩定性。更大尺寸的平臺(7英尺以上)和其他設計的平臺,可以提供更厚的平臺(4-6英寸)可選非磁性材料裝配和Class10級無塵清潔室安裝。標準的毛載重可達25,000lbs11,330kg),能使BaseMate*的適配大多數儀器的解決方案。

 

典型應用:

SEM,TEM CMM,光刻機,掩模對準系統等設備。

    空氣懸掛垂直隔振Air suspension forvertical isolation;

    鐘擺式懸掛增強水平隔振;

    優異的阻尼;

    剛性阻尼平臺;

    相比設備名義高度增高4.5"

    自動水平校準

    超低固有頻率

    許多標準儀器的預制設備;

    客戶可自定義形狀,圖樣和切口

    提供靈活布局。

Min. Load  @ 20 psi1.36標準大氣壓)

 

 

 

垂直固有頻率

1.6 Hz

隔振效率@ 5 Hz

85%

隔振效率@ 10 Hz

97%

 

 

水平固有頻率

1.5 Hz

隔振效率@ 5 Hz

80%

隔振效率@ 10 Hz

92%

 

 

Max. Load  @ 80 psi5.44標準大氣壓)

 

 

 

垂直固有頻率

1.3 Hz

隔振效率@ 5 Hz

90%

隔振效率@ 10 Hz

98%

 

 

水平固有頻率

0.8 Hz

隔振效率@ 5 Hz

90%

隔振效率@ 10 Hz

96%

 

 

Finish

 

Standard

Black Smooth Polyurethane

Class 10

White Epoxy Powder Coat Stainless Steel

注:典型的性能表現是微擾動下


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