HORIBA 熱感傳感器，壓力鈍感質量流量計
SEC-Z700X系列配備熱式傳感器且具有壓力不敏感性以實現穩定流量控制的氣體質量流量控制器。其中前端的壓力控制可減少氣路系統的成本，尺寸及復雜度。

HORIBA 熱感傳感器，壓力鈍感質量流量計

特征

• 多氣體/多量程解決方案

客戶可更改氣體的種類與滿量程

• 可變PID功能實現整個范圍內的高速響應（1秒內）
• 簡化氣路線

無需額外增加調節器，傳感器，過濾器

• 穩定控制氣體流量，不受上游端及下游端的壓力波動影響
• 搭載進氣壓傳感器
• 多種展示
• 確保 1% S.P.的精度
• 超潔凈設計 - 金屬隔板，全部采用不銹鋼SUS-316L，拋光面表面處理（標準）
• 輕巧的尺寸

50SLM內相同的配件尺寸

• 信號兼容

模擬式/RS485 數字式 , DeviceNet™模式

• 聯網功能

數字信號控制

制造: HORIBA STEC