標準型烤膠機 型號：HP100-SE

高溫度可選），可實現控溫在±0.5℃以內，溫度分辨率在0.1℃，表面溫度均勻性小于1%的精確控溫操作。HP100-SE且帶有接近模式

標準型烤膠機  

 高溫度可選），可實現控溫在±0.5℃以內，溫度分辨率在0.1℃，表面溫度均勻性小于1%的精確控溫操作。HP100-SE且帶有接近模式烤膠的頂升功能，方便精確計時，方便上下片拿取，頂升功能能夠進行5步編程，可存貯100組頂升烤膠程序。  

產品性能參數： 
　　 設置溫度　　　　 300℃ 
　　溫度分辨率　　　　 　0.1℃ 
　  設置時間　　　 　100,000S 
　　時間分辨率　　　　 　0.1S 
　　頂升調節距離　　　 　30mm 
頂升分辨率　　 0.1mm 
加熱功率　　　　　 　1000W 
　　重量　　　　　　 　　25Kg 
產品特點介紹： 
　 ●　加熱板面積220mm*220mm，適合8"圓晶尺寸； 
　●　陽硬質氧化鋁面板或鍍特氟龍耐腐蝕不粘面板； 
　●　帶頂升功能，可實現接近模式加熱烤膠； 
　●　程控準確計時，精確控溫，頂升高度可調； 
　●　七寸全彩觸摸屏操作，全不銹鋼機身，經久耐用； 
　●　特殊的隔熱設計和長壽命、高均勻性發熱部件采用； 
　●　可編輯存貯100組，每組5步用戶烤膠程序； 
　●　帶熱輻射保護蓋，更高的烤膠均勻性。 
產品外型尺寸： 
450(D)*300(w)*295(H)

標準型烤膠機  

產品名稱：勻膠顯影機 產品型號：SC100-DE

勻膠顯影機 型號：SC100-DE
　　SC100-DE勻膠顯影機是一種既可用于精密勻膠操作，又可用于半導體顯影和清洗的臺面式設備，它可以實現價值百萬美元設備（track）的上才可能達到穩定性和均勻性。 

　　不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業級別200瓦伺服電機系統，采用與track設備相同設計和程序，使您的工藝更具有實際應用意義；同類產品中*的大達到50000RPM/S的旋轉加速度，確保勻膠和顯影的穩定性和高的可重復性。 
主要性能指標： 
主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）  
旋涂程序：多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒  
轉動速度：0-10,000rpm（更高速可選）  
旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）  
馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1rpm  
轉速調節精度<1rpm，重復性< 1rpm  
工藝時間設定： 0-3,000 sec/step，時間設置精度：0.1sec  
支持wafer尺寸1cm-200mm（8“圓晶）  
標準配置兩路噴液系統（顯影液和去離子水） 



產品特性優點： 
主機在SC100-SE勻膠機上升級，增加耐腐蝕高分子材料防濺式罩蓋 

全程序編輯功能，更方便的智能化操作，更好的顯影/清洗效果  
可實現多獨立四路噴液用于顯影/清洗工作，或進行氮氣吹干  
控制器可實現程序自動控制噴液或進行手動操作，使用更加方便 

顯影系統可進行噴霧式、柱流式多種選擇，視要求進行配置  
提供客戶定制化的顯影系統配置和工裝設計  
高可靠性和重復性，高轉速精度和更高轉速可選  
可添加去邊膠和背膠清洗功能