MicroXAM-800 光學輪廓儀是一款基于白光干涉儀的光學輪廓儀，采用相位掃描干涉技術（PSI）對納米級特征進行測量，以及采用垂直掃描干涉技術（VSI）對亞微米至毫米級特征進行測量。 MicroXAM-800的程序設置簡單靈活，可以進行單次掃描或多點自動測量，適用于研發和生產環境。
MicroXAM-800 光學輪廓儀是一款基于白光干涉儀的光學輪廓儀，采用相位掃描干涉技術（PSI）對納米級特征進行測量，以及采用垂直掃描干涉技術（VSI）對亞微米至毫米級特征進行測量。 MicroXAM-800的程序設置簡單靈活，可以進行單次掃描或多點自動測量，適用于研發和生產環境。
產品描述
MicroXAM-800 光學輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測量系統。MicroXAM的白光干涉儀可以埃級分辨率對表面進行高分辨率測量。 該系統支持相位和垂直掃描干涉測量，兩者都是傳統的相干掃描干涉技術（CSI）。MicroXAM進一步擴展了這些技術，它采用SMART Acquire為新手用戶簡化了程序設置，并且采用z-stitching干涉技術可以對大臺階高度進行高速測量。
MicroXAM測量技術的優勢在于測量的垂直分辨率與物鏡的數值孔徑無關，因而能夠在大視野范圍內進行高分辨率測量。測量區域可以通過將多個視場拼接為同一個測量結果而進一步增加。 MicroXAM的用戶界面創新而簡單，適用于從研發到生產的各種工作環境。
主要功能
主要應用
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