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specEI 海洋光學(xué)SpecEl-2000-VIS橢偏儀,海洋光學(xué)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 成都光馳科技有限公司
  • 品牌
  • 型號 specEI
  • 所在地 成都市
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2015/12/11 19:00:00
  • 訪問次數(shù) 848

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橢偏儀測膜厚的優(yōu)點?1.測量對象廣泛:可測透明膜,多層膜和其他性能不同厚度不同的膜。?2.被測量的薄膜尺寸可以很小。?3.測量速度快。(7-13s檢測時間)?4.光學(xué)測量方法對樣品表面損傷zui小。?5.測量精度高,海洋光學(xué)橢偏儀可以達到0.1nm的精度,而國內(nèi)同類型產(chǎn)品只能達到1nm精度.?6.非苛刻性測量,樣品可是塊狀固體或薄膜

詳細信息 在線詢價

 

海洋光學(xué)SpecEl 橢偏儀基本原理:測量光在反射或者穿透待測樣品時其偏振性質(zhì)的改變。而偏振性質(zhì)的改變主要是由樣品的性質(zhì),如厚度d、折射率n或消光系數(shù)k決定。

•偏振態(tài)的改變主要表現(xiàn)為振幅tan(Psi)和相位cos(Delta)的變化,而相位的變化會導(dǎo)致干涉條紋的產(chǎn)生,橢偏儀就是根據(jù)干涉光譜的分析來得出n,k,d.
•橢偏儀優(yōu)勢:非破壞性、非苛刻性、高精度和高靈敏度

海洋光學(xué)SpecEl 橢偏儀


 

SpecEl-2000-VIS橢偏儀通過測量基底反射的偏振光,進而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEl通過PC控制來實現(xiàn)折射率,吸光率及膜厚的測量。

集成的精確測量系統(tǒng)

SpecEl由一個集成的光源,一個光譜儀及兩個成70°的偏光器構(gòu)成,并配有一個32位操作系統(tǒng)的PC.該橢偏儀可測量0.1nm-5um厚的單膜,并且折射率測量可達0.005%。

SpecEl軟件及Recipe配置文件

通過SpecEI軟件,你可以配置及存貯實驗設(shè)計方法實現(xiàn)一鍵分析,所有的配置會被存入recipe文件中。創(chuàng)建recipe后,你可以選擇不同的recipe來執(zhí)行你的實驗。

 

SpecEI軟件截圖顯示的Psi及Delta值可以用來計算厚度,折射率及吸光率。

配置說明

波長范圍:380-780 nm (標準) 或450-900 nm (可選)
光學(xué)分辨率:4.0 nm FWHM
測量精度:厚度0.1 nm ; 折射率 0.005%
入射角:70°
膜厚:單透明膜1-5000 nm
光點尺寸:2 mm x 4 mm (標準) 或 200 µm x 400 µm (可選)
采樣時間:3-15s (zui?。?/span>
動態(tài)記錄:3 seconds
機械公差 (height):/- 1.5 mm, 角度 /- 1.0°
膜層數(shù):至多32層
參考:不用

 

SpecEl 橢偏儀更多資料請.
 


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