AL120半導體晶圓搬送及檢測顯微鏡適應范圍廣、搭配靈活
對應多種尺寸組合
我們推出了200 mm型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(對應小于150 mm的晶圓)的3種型號。除此以外，您還可以根據檢查模式，選用微觀檢查型號"L型"或微觀•宏觀檢查兼用型號"LMB型"。
晶圓尺寸•厚度對應表
薄片檢查
對應薄片制造廠家的需求，AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設計可以搬運整盒25枚90 μm的極薄晶圓。
高度實用性
進一步優化的宏觀檢查
背面宏觀360゜旋轉
宏觀檢查手臂可以360゜旋轉，更為容易發現傷痕和微塵。
利用360゜旋轉功能，*可以目視檢查整個晶圓(包括邊緣)。此外，在表面宏觀檢查中，使用操縱桿可隨意將晶圓大傾斜30゜進行觀察。
操作便捷
為了滿足各種常規檢查的要求，AL120可以登記多達10個檢查程序。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度。快速菜單選擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序。
晶圓搬送機的菜單設置和設置參數都會在新型的LCD顯示器上顯示。 使用RECALL按鈕可以顯示檢查時登記的有缺陷的對應SLOT，便于操作者再次確認。
AL120半導體晶圓搬送及檢測顯微鏡使用非接觸光學定位、查找和對齊缺口/平面，可以減少晶圓和設備之間的接觸，提高晶圓的清潔度。
高度可靠性
優先考慮晶圓和操作者的安全
為了能夠安全的安裝晶圓，采用了在裝置正面放置片盒的設計。
在安全性和人機工學上通過了SEMI S2/S8檢測，同時，在環境保護方面遵守了RoHS指令。
堅固、耐用的顯微鏡底座
AL120搭載奧林巴斯MX專業晶圓檢查顯微鏡系列，通過各種觀測方法，包括：明視場、暗視場、微分干涉(DIC)、近IR(近紅外線)和DUV(深紫外線)，實現了的圖像分辨率和清晰度。電動物鏡轉換器和孔徑光闌相互鎖定，可以優化各物鏡的照明和對比度。如果特別訂制，AL120還可以應用到其他型號的顯微鏡上。
人機工程學設計的載物臺
手動快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率，標準功能為XY軸控制和晶圓旋轉功能。
可通過操縱桿或預編程的程序控制電動載物臺，進一步將檢查過程自動化。只需一鍵便可驅動載物臺返回或離開load/unload位置及原點位置。
