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CCD 或CMOS影像感測組件量子效率/光譜響應量測。
產品特色
可量測單一像素點的量子效率。
光譜響應/量子效率量測儀
可量測全數組像素量子效率。
可產生各種所需單色光均勻光源，自動化校正各單色光、特定單色光入射光子數。
可量測CRA特性（選配）
軟件可配合用戶需求修改（選配）。
為全自動化設計，操作簡易。
光譜響應/量子效率量測儀
CCD 或CMOS影像感測組件量子效率/光譜響應量測。
產品特色
光譜響應/量子效率量測儀系統優勢:
*QE-IS系統采用光焱科技研發多年的單色光均光系統具備下列多項優勢:
*高均勻度
*可產生高均勻度的單色光光斑，在10x10mm2面積內均勻度可以>99%，在20x20mm2面積內仍可維持在>98%。與積分球系統相較，具有更佳的均勻度表現。
*高光強度、高訊噪比
*QE-IS高效率均光系統，以550nm單色光為例，在QE-IS系統光均面的光強度可>5 uW/cm2，相較于積分球系統的單色光強僅1x10-8 uW/cm2，兩者差距千萬倍，QE-IS系統量測具備的訊噪比，可精確測出感光組件的量子效率等相關光學特性。
*可作單像素QE量測
*因QE-IS單色光強度足夠(5 uW/cm2@550nm)，打在1 um的像素單元，產生的光電流約在20 pA，相較于積分球系統產生的單一像素光電流在sub-fA以下，QE-IS系統可直接用于量測數組感光組件上，任何單一像素的量子效率。
*可作全數組像素QE量測
*除單一像素量測，QE-IS可整合或是被整合于使用者自行開發的感光組件的數字電路訊號，以量測全數組像素QE。
*可作CRA量測
*QE-IS的均勻單色光發散角度< 5度，相較積分球的發散角度 >90度，搭配選配的旋轉平臺，即可量測CRA(Chief Ray Angle)特性。無需額外添購系統，方便整體的量測。
QE-IS與傳統積分球系統的特性比較表
| 項目 | QE-IS 光學系統 | 傳統積分球系統 |
| 光均面均勻度 (10 mm x 10 mm) | > 99 % | > 99% |
| 光均面位置 | 距均光系統出口300 mm | 積分球開口處 |
| 光均面光強度 | > 5 uW/cm2 | 10-8 uW/cm2 (1米積分球) |
| 單像素QE量測 | 可(光強足夠) | 否(光強度過低) |
| 發散角度 (半角) | < 5度 | > 90度 |
| 可否量測CRA | 可 | 否 |
產品規格
1. 適用影像組件尺寸: 1/4"、1/3"、1/2"、2/3"、1"
2. 單色光光譜范圍: 350~1100 nm (可擴充)
3. 電流分辨率: < 1pA (一般), 電流計小解析能力: 10 fA , 5-1/2 digit resolution
4. 均勻光源規格: 10 mm x 10 mm
5. 光均勻度> 99 %
6. 單色光源角度: < 5° (半角)
| 項目 | 指標及說明 |
| 連續光源系統 | 75 W 氙燈電源供應器 |
| 單色儀 | 焦長 < 120 mm |
| 自動雜光濾鏡轉輪 | 可裝載6片雜光濾鏡，手自動控制， |
| 波長范圍 | 350 nm ~ 1100 nm (可擴充) |
| 光能量校正 | Si偵測器，BNC接口，附校正報告 |
| 單色光均光系統 | 光斑大小: 45 mm x 45 mm |
| 電流計 | 5-1/2 電流計 |
| 控制系統 | PC, LCD |
| 標準控制軟件 | 各波長光強度校正 |
| 選配 | |
| 客制化影像模塊樣品座 | 依客戶需求設計定制 |
| CRA旋轉平臺(Chief Ray Angle) | 360度旋轉平臺 |
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