膜沉積系統

控制及操作： 軟件控制，自動膜沉積

沉積速度：    標準范圍0.1-75mm/min；  速度調節增量 0.1mm

沉積次數：    無限次

基片zui大尺寸：60×30mm（*浸漬）

浸漬馬達：    直流司服馬達

膜壓測量系統

動態范圍：    0-125mN/m

分辨率：      4μN/m

膜面積控制系統

表面積調節：   2個內部移動滑障單分子層對稱壓縮

壓縮速度：     0.02mm-200mm/min

槽

尺寸：         375×75×5mm  

體積：          0.160L帶浸漬井