微量氣體分析儀 它是可以對用于半導體工藝的混合氣體 （N2、O2、He、Ar、H2、Air） 中的微量不純物進行超高靈敏度、高精度 （檢測感度可至10ppb） 連續檢測的裝置。由于采用了交替流動調制方式，可以和零氣體不斷比較的同時進行檢測，所以沒有零點漂移，能夠獲得*穩定的檢測值。由于它通過19英寸RACK方式進行了集中，所以系統升級也很容易。適于半導體氣體制造設備的質量管理 。

產品介紹

微量氣體分析儀 

產品性能

1分析儀可以搭載CO/CO2/CH4中的2種成分，2種成分可同時以數字形式顯示濃度。

采用了交替流動調制方式，沒有零點漂移，可以獲得*穩定的連續檢測值。

不需要進行光學調整，維護性得到了提高。

由于搭載有流量（壓力）異常、斷路器（電磁閥）、失火報警（GA-360E）、電源斷開的自我診斷功能，所以能夠迅速地在發生異常時采取措施。

微量氣體分析儀 

產品技術規格