SPI公司(Structure Probe, Inc.)創(chuàng)立于1970年，創(chuàng)立之初以電鏡分析服務(wù)為主，1975年創(chuàng)立耗材部門，銷售電鏡的試片制作工具及耗材。該公司產(chǎn)品包括SEM、TEM、SPM甚至Laser Microscope 的耗材，儀器部分包括鍍碳鍍金機(jī)、電漿表面清潔或蝕刻機(jī)及電漿鍍鋨機(jī)等。

渦輪泵高真空度蒸發(fā)器：

渦輪泵高真空度蒸發(fā)器，滿足您的高真空度鍍膜需求，從碳蒸發(fā)到金屬鍍膜。

從用于精密控制和可復(fù)制性的固態(tài)電子器件，到便于使用的觸屏界面，Vacu Prep II是一款容易使用的儀器。內(nèi)置渦輪分子泵，能夠快速地達(dá)到10-7托(torr)的真空度，并有大尺寸底板，帶有多個(gè)進(jìn)樣槽，可以容納多種多樣的固定件，適用于幾乎所有應(yīng)用領(lǐng)域。

典型應(yīng)用領(lǐng)域：

• 電子顯微鏡樣品制備

• 高真空度碳鍍膜，用于TEM和X射線分析

• 金屬化合物的電阻蒸發(fā)

• 碳支持膜

• 碳/鉑復(fù)制品

• 孔眼清洗

• 石棉分析

• 失效分析

系統(tǒng)規(guī)格：

• 65升/分鐘渦輪分子泵

• 交互式觸摸屏控制板

• 氣動真空閥

• 尺寸：31″寬×28″深×30″高（79 cm寬×72 cm深×77 cm高）

• 重量：250磅（114 Kg）

• zui大真空度：10-7托(torr)

系統(tǒng)包括：

• 12″×12″（31 cm×31 cm）鐘形組件，帶抬升引導(dǎo)件

• 蒸發(fā)電源，帶關(guān)閉裝置

• 碳棒蒸發(fā)組件

• 碳纖維/金屬化合物蒸發(fā)組件

• 可調(diào)節(jié)的旋轉(zhuǎn)/傾斜臺

• 液氮存留器，帶加注漏斗

• 不銹鋼底板

場所要求：

• 壓縮空氣（用于閥門系統(tǒng)調(diào)節(jié)系統(tǒng)）：80磅/平方英寸（psig，表壓）

• 壓縮氮?dú)猓ㄟx配排氣裝置）：5-10磅/平方英寸（表壓）

• 液氮（選配液氮存留器）

• 電力：110 V或 230 V, 50/60 Hz

• 采用機(jī)械泵支持渦輪泵