多功能離子束研磨儀 Leica EM RES101
樣品制備
適宜為透射描電和掃描電鏡樣品制備, 在實驗室無需設立兩臺不同的儀器,結果節省成本。
局域網兼容
通過局域網,用戶可以通過外部進行操控和監視樣品處理過程,為用戶提供*的靈活度和便利性。
液氮冷凍系統
可選配的LN2冷卻系統,使用Cu質地的專門的樣品臺,確保樣品真正冷卻,使對熱敏感的樣品進行樣品處理時無假象產生,適用于TEM和SEM樣品處理,使針對不同種類樣品處理的方法更靈活多變。
全自動多功能離子束研磨系統,可進行離子減薄(用于TEM);離子束拋光,離子刻蝕,樣品離子清洗及斜坡切割(用于SEM)等
離子束能量1keV 10keV,2把離子槍可分別±45°傾斜,樣品臺傾斜角度-120°至210°,離子束加工角度0°至90°,樣品平面擺動角度<360°,垂直擺動距離±5mm
可容納大樣品尺寸:直徑25mm,高度12mm
可選配樣品臺:TEM樣品臺(Ø3.0mm或Ø2.3mm),FIB樣品清洗臺,SEM樣品臺,斜坡切割樣品臺(對樣品35°或90°斜坡切割)及相應冷凍樣品臺
全無油真空系統,樣品室帶有預抽室,保證樣品交換時間<1分鐘
全電腦控制,觸摸屏操作界面,內置視頻觀察系統,可實時觀察樣品出來過程
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