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波前傳感器

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波前傳感器

1.HASO4寬帶

主要特點:

•全光譜范圍校準在350 nm -1100nm

•λ/ 100精度超過600λ動態范圍

•測量相位和強度,同時和獨立

•內部微透鏡陣列技術制造

•20Hz,全分辨率

•WaveView或HASO v3.2,行業完整的軟件包包括在內

•WaveKit (SDK of WaveView)兼容C,LabVIEW和MATLAB

詳細參數:

描述

規格

孔徑

7.0 x 5.2 mm²

微透鏡數

68 x 50

傾斜動態范圍

> ± 3° (600 λ)

聚焦動態范圍

±0.018 m to ± ∞ (450 λ)

可重復性(rms)

< λ/200

模式下波前測量精度 (rms)

λbetween 350 and 600 nm

λbetween 600 and 1100 nm

< 6nm

< λ/100

空間分辨率

~ 105 µm

大采集頻率

20 Hz

外部觸發

TTL signal

校準光譜范圍

350-1100 nm

尺寸 / 重量

46x56x56 mmᵌ/150g

工作溫度

15-30° C

接口 / 功耗

USB 3.0 / 2.9 W

Ethernet / 2.9 W

操作系統

Win XP, Win 7 (x86/x64)

2.HASO4 可見光

主要特點:

·10 nm rms精度在整個可見光譜(單色或多色)

·優化為大波長范圍(400 – 700nm)

·測量相位和強度,同時和獨立

·內部的微透鏡陣列技術制造

·幀速率的100 Hz,全分辨率

·WaveView業界完整的軟件包包括在內

·WaveKit SDK兼容C,LabVIEW和MATLAB

·C-mount兼容入口孔徑——外部觸發功能

詳細參數:

描述

全解析度

孔徑

3.6 x 4.6 mm²

微透鏡數

32 x 40

傾斜動態范圍

> ± 3° (400 λ)

聚焦動態范圍

± 0.018 m to ± ∞ (350 λ)

聚焦動態范圍 - maximum NA

0.1

可重復性 (rms)

7.5 nm

模式下波前測量精度 (rms)

10 nm

傾斜測量靈敏度 (rms)

5 μrad

聚焦測量靈敏度(rms)

3·10-3m-1

空間分辨率

~ 110 μm

大采集頻率

100 Hz

工作波長范圍

400 - 700 nm

擴展波長范圍

not available

吃寸 / 重量

42x 42 x 42 mm /150g

工作溫度

15 – 30° C

接口/ 供電電源

USB 3.0 / 2.7 W via USB

操作系統

Win 7 (x86 / x64)

WaveView metrology software

included

外觸發器

yes

3.HASO4 FIRST

主要特點:

·λ/ 100精度超過400λ動態范圍

·測量相位和強度,同時和獨立

·內部的微透鏡陣列技術生產

·幀率100 Hz為高速高分辨率或150 Hz為高速采集

·HASOv3,業界完整的軟件包包括在內

·核心引擎SDK HASOv3兼容的C + +,LabVIEW和MATLAB

·C-mount兼容入口孔徑----外部觸發功能

詳細參數:

描述

全解析度

高速*

孔徑

3.6 x 4.6 mm²

1.8 x 2.3 mm²

微透鏡數

32 x 40

16 x 20

傾斜動態范圍

> ± 3° (400 λ)

> ± 3° (200 λ)

聚焦動態范圍

± 0.018 m to ± ∞ (350 λ)

± 0.018 m to ± ∞ (100 λ)

聚焦動態范圍- maximum NA

0.1

0.1

可重復性 (rms)

< λ/200

< λ/200

相對模式下波前測量精度 (rms)1

~ λ/150

~ λ/150

模式下波前測量精度(rms)²

~ λ/100

~ λ/100

傾斜測量靈敏度(rms)

5 μrad

10 μrad

聚焦測量靈敏度 (rms)

3·10-3m-1

6·10-3m-1

空間分辨率

~ 110 μm

~ 110 μm

大采集頻率

100 Hz

160 Hz

工作波長范圍

350 - 1100 nm

校準波長

in the 400-1100 nm range, details on request3

尺寸/重量

42x 42 x 42 mm /150g

工作溫度

15 – 30° C

接口 / 供電電源

USB 3.0 / 2.7 W via USB

操作系統

Win XP, Win 7 (x86 / x64)

WaveView metrology software

included

外部觸發器

yes

4.HASO3 32

主要特點:

•工作波長范圍在400到1100納米之間

•高分辨率- 1280獨立測量點

•孔徑尺寸4.9 x 6.1mm2

•相位和強度同時和獨立測量

•真正的測量

•*的精度和動態范圍

詳細參數:

描述

規格

孔徑

4.9 x 6.1 mm²

微透鏡數

32 x 40

傾斜動態范圍

>±3° (520λ)

聚焦動態范圍 - 小局部曲率半徑

20 mm

聚焦動態范圍 - maximum NA

> 0.1

可重復性 (rms)

< λ/200

相對模式下波前測量精度(rms)1

~λ/150

模式下波前測量精度(rms)²

~λ/100

傾斜測量靈敏度 (rms)

3 µrad

聚焦測量靈敏度 (rms)

1·10-3 m-1

空間分辨率

~160 µm

大采集評頻率 (sequential acquisition)

50 Hz

處理頻率(CPU 3Ghz, 512 Mb RAM)

20 Hz

工作波長范圍

350 - 1100 nm

校準波長

A (400 - 600 nm), B (500 - 700 nm), C (630 - 900 nm), D (800 - 1100 nm)

擴展波長范圍*

A+ (400 - 700 nm), B+ (500 - 900 nm), C+ (630 - 1100 nm)

尺寸/ 重量

75 x 62 x 68 mm / 510 g

工作溫度

15 - 30° C

接口 / 供電電源

FireWire / 12 V / 6 W

操作系統

Win 7 (x86 / x64)

HASOv3 metrology software

included

外觸發器

yes

5.HASO3 128 GE2

主要特點:

•工作波長范圍在400到1100納米之間

•分辨率- 16384獨立測量點

•大孔徑尺寸14.6 x 14.6mm²

•相位和強度同時和獨立測量

•真正的測量

•*的精度和動態范圍

•溫度穩定為*的測量

詳細參數:

描述

規格

孔徑

14.6 x 14.6 mm²

微透鏡數

128 x 128

傾斜動態范圍

>±3° (1500 λ)

聚焦動態范圍 - 小局部曲率半徑

15 mm

聚焦動態范圍 - maximum NA

> 0.1

可重復性 (rms)

< λ/200

相對模式下波前測量精度 (rms)1

~λ/150

模式下波前測量精度(rms)²

~λ/100

傾斜測量靈敏度 (rms)

<1 µrad

聚焦測量靈敏度(rms)

2.5·10-4 m-1

空間分辨率

~110 µm

大采集頻率(sequential acquisition)

7.5 Hz

處理頻率(CPU 3Ghz, 512 Mb RAM)

5.0 Hz

工作波長范圍

350 - 1100 nm

校準波長范圍

A (400 - 600 nm), B (500 - 700 nm), C (630 - 900 nm), D (800 - 1100 nm)

擴展波長范圍*

A+ (400 - 700 nm), B+ (500 - 900 nm), C+ (630 - 1100 nm)

尺寸 / 重量

115 x 51 x 60 mm / 400 g

工作溫度

15 - 30° C

接口/ 供電電源

Giga Ethernet / 12 V / 6 W

操作系統

Win 7 (x86 / x64)

HASOv3 metrology software

included

外觸發器

yes

6.HASO HP 16

主要特點:

•λ/ 200 rms的精度

•λ/ 300 rms的相對精度

•相位和強度同時和獨立的測量

•真正的測量

•*的精度和動態范圍

•溫度穩定為*的測量

詳細參數:

描述

規格

孔徑

4.7 x 5.8 mm²

微透鏡數

16 x 20

傾斜動態范圍

>±3° (500λ)

聚焦動態范圍 - 小局部曲率半徑

40 mm

聚焦動態范圍- maximum NA

> 0.06

可重復性 (rms)

< λ/400

相對模式下波前測量精度(rms)1

~λ/300

模式下波前測量精度(rms)²

~ λ/200

傾斜測量靈敏度(rms)

1 µrad

聚焦測量靈敏度 (rms)

2·10-4 m-1

空間分辨率

~290 µm

大采集頻率 (sequential acquisition)

50 Hz

處理頻率(CPU 3Ghz, 512 Mb RAM)

30 Hz

工作波長范圍

350 - 1100 nm

校準波長

400 - 600 nm, 500 - 700 nm, 630 - 900 nm, 800 - 1100 nm

擴展波長范圍*

400 - 700 nm, 500 - 900 nm, 650 - 1100 nm

尺寸 / 重量

75 x 62 x 68 mm / 510 g

工作溫度

15 - 30° C

接口 / 供電電源

Fire Wire / 12 V / 6 W

操作系統

Win 7 (x86 / x64)

HASOv3 metrology software

included

外觸發器

yes

7.HASO3 FAST

主要特點:

•工作波長范圍在400到1100nm之間

•速度905 Hz

•λ/ 150 rms的相對精度

•真正的測量λ/ 100 rms

•相位和強度同時和獨立的測量

•*的精度和動態范圍

詳細參數:

描述

規格

孔徑

1.7 x 1.7 mm²

微透鏡數

14 x 14

傾斜動態范圍

>±3°

聚焦動態范圍- 小局部曲率半徑

± 0.025 m

聚焦動態范圍- maximum NA

0.1

可重復性 (rms)

< λ/200

相對模式下波前測量精度 (rms)1

~λ/150

模式下波前測量精度 (rms)²

~ λ/100

傾斜測量靈敏度 (rms)

6 µrad

聚焦測量靈敏度 (rms)

5·10-3 m-1

空間分辨率

~110 µm

大采集頻率(sequential acquisition)

905 Hz

處理頻率(CPU 3Ghz, 512 Mb RAM)

800 Hz

工作波長范圍

on request

校準波長

on request

擴展波長范圍*

400 - 700 nm, 500 - 900 nm, 650 - 1100 nm

尺寸 / 重量

115 x 51 x 60 mm / 400 g

工作溫度

15 - 30° C

接口 / 供電電源

Cam Link / 12 V / 6 W

操作系統

Win 7 (x86 / x64)

HASOv3 metrology software

included

外觸發器

yes


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