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Q150GB手套箱高真空鍍膜儀

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Q150GB手套箱高真空鍍膜儀

Q150T Plus是一款可安裝在手套箱內的模塊化鍍膜系統,包括真空腔室模塊、電源模塊、觸屏操作模塊等;其中真空腔室模塊裝配在手套箱內,電源、機械泵和氬氣接口通過手套箱后面的兩個KF40接口連接;真空度可達5x10-5mbar。可以濺射具有超細成膜顆粒的易氧化金屬,適用于高分辨率成像。同樣地,低散射可得到均勻而致密的無定形碳膜。

儀器特點:

•   模塊化結構,用于安裝在手套箱中

•   集成的手套箱壓力監測

•   通過觸摸屏控制面板進行遠程操作

•   金屬濺射和碳蒸發集成在同一個系統中

•   渦輪分子泵抽真空,可濺射各種易氧化材料和不氧化貴金屬材料

•   高真空碳棒鍍碳,用于掃描電鏡和透射電鏡的樣品鍍碳應用(可選碳繩)

•   可選金屬蒸發頭

•   真空閉鎖功能,不使用時可使工作腔室處于真空狀態,以便提高真空性能

•   鍍制厚膜的能力,可預設濺射時間,一次真空條件下總濺射時間長達60分鐘

•   集成的壓力互鎖開關-通過對手套箱壓力監測實現互鎖,出現泄漏時自動關閉真空泵

*應用:

•   掃描電鏡高分辨率放大應用

•   TEM應用

•   FIB中鍍保護性鉑層

•   腐蝕、摩擦和磨損保護層的研發

•   醫療設備上的保護層

•   薄膜研究

•   EDXWDSEBSD分析

•   鋰電池

Q150GB作為手套箱版本的鍍膜儀,也是英國Quorum出品的認可的Q系列鍍膜儀的一部分,數千家客戶使用此類鍍膜儀。Q系列旨在為SEMTEM和薄膜應用提供高質量的鍍膜解決方案,Q系列功能多樣、價格合理且易于使用。這些產品科研用途。

對于非手套箱配套應用的鍍膜儀,如:SEM應用的機械泵抽真空的噴金噴碳儀,請參見SC7620Q150R Plus。對于FE-SEM應用所需的超細顆粒鍍膜,建議采用高真空鍍膜儀,請參見Q150T PlusQ150V Plus;如需大腔室版本的鍍膜系統,請參見:Q300T T PlusQ300T D PlusQ300T ES PlusK975X/K975S

 


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