Tergeo系列臺式全自動等離子清潔儀具有清潔、灰化、刻蝕等功能，可用來清潔納米級樣品，去除光刻膠，清潔晶圓和集成電路鍵合焊盤，進行煤和有機物的灰化，激活聚合物、金屬和陶瓷表面官能團，獲得表面親水性，提高鍵合強度和可印刷性，促進科研生物相容性。可集成浸入式和遠程式兩種等離子源，既可清潔電鏡光闌和TEM樣品桿，也可清潔石墨烯、碳納米管、類金剛石碳和TEM載網多孔碳膜等脆弱的精細樣品。

Tergeo系列臺式等離子清潔儀

Tergeo系列臺式全自動等離子清潔儀具有清潔、灰化、刻蝕等功能，可用來清潔納米級樣品，去除光刻膠，清潔晶圓和集成電路鍵合焊盤，進行煤和有機物的灰化，激活聚合物、金屬和陶瓷表面官能團，獲得表面親水性，提高鍵合強度和可印刷性，促進科研生物相容性。可集成浸入式和遠程式兩種等離子源，既可清潔電鏡光闌和TEM樣品桿，也可清潔石墨烯、碳納米管、類金剛石碳和TEM載網多孔碳膜等脆弱的精細樣品。

Tergeo系列具有三種型號：

1）Tergeo 等離子清潔儀：這是一款經濟實用的等離子清潔儀。

2）Tergeo-Plus大腔室等離子清潔儀：這是一款具有大樣品室的等離子清潔儀，可清潔寬達150mm的樣品。

3）Tergeo-EM等離子清潔儀：用于TEM樣品桿清潔以及去除SEM & TEM樣品的碳氫污染。

儀器特點：

• Tergeo系列是能在一個系統中支持兩種清潔模式的等離子清潔儀。

Tergeo-EM標配雙等離子源、并且具有清潔TEM樣品桿的功能；其余兩款

標配浸入式等離子源，用于樣品表面清潔、蝕刻、灰化，可選遠程式等離

子源用于溫和的污染清除及脆弱易損樣品的表面活化。

• 采用離子體強度傳感器技術，實現實時定量測量等離子強度

• 13.56MHz射頻發生器，自動阻抗匹配調諧，雙源版本可脈沖工作

• 直觀的觸摸屏用戶界面，可儲存20條用戶程序，全自動運行

• 采用MFC(質量流量控制器)調節的氣體輸送控制

• 高純石英樣品腔室和樣品托

*應用：

• 集成電路芯片引線鍵合和封裝前的清潔

• 清潔TEM和SEM樣品，去除烴污染

• 親水性或疏水表面潤濕性等離子處理

• 增強環氧樹脂/膠水粘合強度

• 用于清潔光學、激光、通訊用玻璃和光纖頭

• 改善MEMS微流體器件的潤濕性

• 蝕刻光刻膠

• 剝除被膜，用于失效分析

• 隱形眼鏡、科研植入物等類型科研的表面處理和激活

實驗結果的一致性和可重復性對于科研和生產運行是至關重要的。因此，

我們集成了多種過程控制技術來監測和控制關鍵參數，如等離子體傳感

器、壓力傳感器和氣體輸入的自動質量流量控制器。Tergeo等離子清洗

機的操作是全自動的。直觀的用戶界面，加上7英寸的觸摸屏，使本系

列儀器的操作像智能板一樣簡單。嵌入微控制器支持20個可定制的配方

程序。Tergeo系列等離子體處理系統采用*的工藝控制技術，可為不

同用戶提供重復的日常運行性能。

Tergeo系列臺式等離子蝕刻和表面清潔系統可用于研究、開發等應用。TEM用戶，請選用我們的Tergeo-EM具有清潔TEM樣品桿功能的等離子清潔儀；TEM和SEM及其它用戶也可查看EM-KLEEN遠程等離子清潔系統。對于樣品桿儲存等應用，可選用多用途樣品清潔及儲存腔室。