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PANALYZER 系列多元素同步 mapping 太陽能電池薄膜 LIBS 在線檢測系統

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? 離線/在線測量 ? 大尺寸樣本元素成分mapping ? 軟件全自動控制 ? 啟動快速 ? 操作簡易

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PANALYZER

多元素同步 mapping 太陽能電池薄膜 LIBS 在線檢測系統

LIBS 技術進入太陽能工業


PAnalyzer是利用激光誘導擊穿光譜(LIBS)技術在大尺寸面板上,對樣品進行多元素定性,定量分析量測的工業檢測系統。PAnalyzer由于其許多的特點:非接觸測量系統、易操作性,從而可以被廣泛應用于太陽能電池板,玻璃面板,冶金、陶瓷工業類似面板……的生產、制造過程中離線/在線工藝及質量控制和研發分析。

PAnalyzer配備安裝在超大行程XY平臺上的可移動測量頭,在很短的測量時間內,可以提供待測元件的橫向元素均勻性(元素濃度和元素組成)的空間分辨分析。由于單個組件的模塊化設計,該系統可良好地適于特定用戶的特殊測量需求。下列模塊可作為標準組件:

    ? Nd:YAG激光器,二極管泵浦

    ? 帶有CCD或者ICCD的高分辨率中階梯光譜儀

    ? 遠程探測光學組件 (信號收集望遠鏡,

       激光擴束,聚焦光學元件)

    ?光纖耦合

    ?可定制樣品架

    ?大行程電動位移控制

    ?視頻監控

    ?Interlock安全電路

    ?激光1級安全防護外罩

     

Panlayzer的測量能力可以通過添加一個拉曼系統進行提高。系統提供LIBS&RAMAN增強型配置;這樣,除了樣本元素分析外,樣品的分子組成可以被同時測定。

激光誘導擊穿光譜(LIBS)是一種原子發射光譜,利用激光燒蝕,對隨后產生的等離子體發射譜線進行元素分析。激光燒蝕可以提供從任何種類的材料(固體,液體,氣體)直接取樣,是免樣品制備的分析方法。

硬件操控及光譜評價軟件Sophi提供基于PC的控制面板來訪問所有設備功能。所測量的LIBS光譜譜線將通過一個內部集成的大型數據庫進行分析,并且定性分析出相對應的元素。對于未知成分樣本的多元素定量分析,需要參考樣本提供一個外標標定;Sophi可以實現基于腳本語言的程序自動控制,實現重復測量及進行程序自動化的光譜評價,為用戶提供大的靈活性。



主要特點(Features)

    · 離線/在線測量

    · 大尺寸樣本元素成分mapping

    · 軟件全自動控制

    · 啟動快速

    · 操作簡易


PAnalyzer 光伏工業

    · 對樣本中低含量元素(如鐵、銅、鋅、鈉……若干ppm量級),進行多元素同步定量分析,實現實時監控

    · 非接觸測量

    · 軟件全自動控制

    · 無需制備樣品

    · 測量時間小于1秒/點(根據客戶要求,可提供更高速度)



規格參數(Specifications)  


測量方法

激光誘導擊穿光譜

(LIBS)

定性和定量多元素分析

非接觸測量

無需樣品制備

無損分析

每個測量點的典型的測量時間 1

< 1 s

低檢測限(LOD) 2

< 10 ppm

特征

(大尺寸)樣本mapping

離線/在線檢測




XY平臺 3

電動線性驅動軸

定位精度

±1 mm

重復性

100 µm

步進精度

≤   100 µm

速度

60 mm / s




光譜儀

類型

中階梯光柵光譜儀(ARYELLE系列)




激光 3

類型

Nd:YAG

波長

1,064 nm (optional 532 nm, 355 nm, 266 nm)

脈沖能量

up to 25 mJ

頻率

up to 100 Hz

泵浦二極管壽命

> 1 billion shots




安全性

設備外殼

激光安全罩,激光等級1

interlock安全回路

door, light curtain, service door

信號燈

提供




樣品

寬度x 深度 x高度 4

1,200 mm x 1,600 mm x 4 mm

重量

max. 10 kg




控制和分析

硬件

基于電腦的控制面板

軟件

操作和評測軟件sophi

工作參數設定

實時監控

用于實現測量和分析自動化的腳本編輯器

定性和定量光譜分析




外形尺寸 工作條件

寬度x 深度 x高度 4

(2,200 x 1,350 x 2,340) mm

重量

700 kg

典型功耗

2 kW

工作溫度

+ 10 °C … + 35 °C

相對濕度

max. 80 %

1 依賴于硬件配置及具體測量應用

2 取決于樣本中的待測元素及樣本的元素組成

3 可提供其它規格可提供

4 可根據客戶要求定制

*技術規格將可能更改



應用領域(Application)

    

    · 操作過程監控

    · 質量控制

    · 工業應用


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