氣浮防震臺 TDI系列是日本HERZ公司研發的一款3D減振類型系統。該系列采用SHG空氣彈簧減振技術，采用HERZ研發的精密空氣彈簧和輕量高剛性蜂窩板，可隔離三維六個自由度的振動，適用于光學顯微鏡，干涉儀，輪廓儀等精密儀器，為用戶提供優異的被動隔振性能。
產品描述：
氣浮防震臺-氣浮減震平臺-隔震臺 TDI系列是日本HERZ公司研發的一款3D減振類型系統。該系列采用SHG空氣彈簧減振技術，采用HERZ研發的精密空氣彈簧和輕量高剛性蜂窩板，可隔離三維六個自由度的振動，適用于光學顯微鏡，干涉儀，輪廓儀等精密儀器，為用戶提供優異的被動隔振性能。
工作原理：
安裝有測量和制造設備的地板或多或少會有振動。 如果這些振動對設備造成不利影響，效的解決方案則是使用隔震臺（減振臺），以便營造該設備的條件。
被動隔震臺以其*的柔和運動，易于移動的形狀和適當的重量來吸收傳入的振動，并消耗振動能量進行隔振。因此，諸如防振橡膠和空氣彈簧之類的柔軟材料以及可以輕柔移動的零件是被動隔振臺的重要元素。被動隔振臺可以通過改變彈簧強度或增加彈簧數量來支撐數十噸的設備。
相對于防振支撐件（彈簧上）的總重量M，空氣彈簧式隔振臺旨在使靜載荷下“彈簧壓力受壓面積S”，“彈簧內部壓力P”和“彈簧數量N（支撐件的數量）”相乘的總數值保持平衡。當發生動態負載情況（由于M重心的移動而導致的不平衡狀態）時，可變負載分量（ΔM）由機械閥自動校正，或者由封閉閥手動校正以校正內部壓力。空氣彈簧式隔振臺使用彈簧材料的粘性阻力和封閉壓力的空氣（氣體）阻力作為損失系數，為了改善隔振效果，空氣彈簧內部容積（彈簧腔）與輔助氣罐內部體積（阻尼室）之間通過節流孔（節流閥）彼此連接，并且通過節流孔進行空氣阻尼。該輔助氣罐是調節自然頻率的主要因素之一。這種控制方法的優點是可以通過低成本的組件配置獲得大的效果，例如通過機械閥進行壓力操作（壓力IN / OUT / EXH）以及通過節流孔或速度控制器進行流速/流量調節。
應用范圍：
技術參數：
減振效果-氣浮防震臺：
TDI系列氣浮防震臺-氣浮減震平臺-隔震臺 可有效降低垂直方向和水平方向上的振動情況。
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