IC6 薄膜沉積控制器

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具體成交價以合同協議為準

公司名稱 英福康（廣州）真空儀器有限公司
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型號
所在地
廠商性質其他
更新時間 2021/2/3 13:18:43
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特價說明：

促銷詳細：

2020年01月08日至 2020年02月08日

特價促銷

模內澆口分離自動化，降低對人的依賴度；傳統的塑膠模具開模后產品與澆口相連，需二道工序進行人工剪切分離，模內熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續工序，有利于生產自動化，降低對人的依賴。

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功能

INFICON ModeLock 技術確保獲得、的速率和厚度測量分辨率，即使在速率極低的情況下
Auto Z 技術通過自動測定沉積材料的 Z 比值，可提高厚度測量的精度
支持多六個來源同時共沉積
彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進展狀況
100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz
USB 數據存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數據記錄
強大的 I/O 憑借其靈活性可融入簡單或復雜的系統（使用可擴展輸入 (28) 和輸出 (24 繼電器，14 TTL 輸出)，并充分利用邏輯功能（100 個邏輯語句）
6 個標準 DAC 輸出和另外 6 個可選輸出用于來源控制、速率或厚度監控
可容納多 50 個過程，每個過程 200 層，這些過程關聯到一起，總共可容納 10,000 層。
多路傳感器可平均分配為 8 個傳感器
4 米 XIU 選件能夠在大型系統中使用較長的真空傳感器電纜
可選以太網通信
Optional IC6 Configuration Editor Software (part number 781-620-G1) - LabVIEW® based Windows® software that allows for offline creation and editing of IC6 configuration files and converts IC/5 configuration files to IC6 format.
符合 RoHS 標準

典型應用

光學鍍膜

規格

類型		IC6
測量性能
頻率分辨率		±0.0035 Hz @ 6 MHz
厚度和速率分辨率/測量 (1)		±0.00433 ?
測量頻率范圍		6.0 to 4.5 MHz (fixed)
厚度精度 (2)		0.5%
測量周期		0.10 s
多個測量值平均		0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
設計功能
Auto Z		yes
自動色調		yes
共沉積		yes (up to 6 sources)
過程配方和數據管理
材料計劃		32
過程層（每個過程）		200
過程		50 (processes can be linked together)
USB 存儲器		yes
數據記錄		yes
硬件功能
傳感器 (3)
單		8
雙 / CrystalTwo®		4 / 8 (with CrystalTwo^® Switch)
CrystalSix®		8
Crystal 12®		8
通用		8
來源控制
來源數量 (4)		up to 6
來源控制電壓		0 to +/-10 V, adjustable
輸出分辨率		15 bits over full range (0 to 10V)
坩堝位置		64
輸入 / 輸出
輸入		14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground
輸出		8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs
記錄器輸出 (4)		0 to +10 V, adjustable
邏輯語句		100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement
通信
標準		RS232
可選		Ethernet
顯示器
厚度分辨率		1 Å for 0 to 9.999 kÅ 10 Å for 10.00 to 99.99 kÅ 100 Å for 100.0 to 999.9 kÅ 1 kÅ for 1000 to 9999 kÅ
速率分辨率		0.001 for 0 to 9.999 Å/s if rate filter time setting is 10 seconds or greater 0.01 for 0 to 99.99 Å/s 0.1 for 100 to 999.9 Å/s
操作
電源要求		100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz
工作溫度		0 to 50°C (32 to 122°F)
尺寸，不包括安裝件（高 x 寬 x 深）		5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm)
重量		23 lbs (10.5 kg)

(1) 工具/密度 = 100/1，基礎頻率 = 6 兆赫茲

(2) 隨過程變化；數值表示典型的精度

(3) 每種類型的大配置

(4) IC6 有 6 個 DAC 輸出標準，還可再選擇再添加 6 個。可將 12 個中的任何一個配置為來源控制電壓或記錄器輸出，但可同時控制的來源數量為 6

附件

名稱	說明
	前裝式單傳感器
	前裝式雙傳感器
	炫酷抽屜單傳感器
	炫酷抽屜雙傳感器
	薄型雙傳感器
	UHV 可烘烤傳感器
	ALD 傳感器
	濺射傳感器
	CrystalSix® 傳感器
	Easy Rate Single Sensor
	Crystal 12® 傳感器
	RSH-600 旋轉式傳感器

零件號	明細
755-262-G1	Handheld Power Controller
779-220-G1	CrystalTwo 開關，15.2 cm (6 in.) BNC 電纜
779-220-G2	CrystalTwo 開關，50.8 cm (20 in.) BNC 電纜
Oscillator kits	（包括振蕩器和電纜）

781-611-G15	帶 4.6 米（15 英尺）電纜的 XIU PKG - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-611-G30	帶 9.1 米（30 英尺）電纜的 XIU PKG - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-611-G50	帶 15.2 米（50 英尺）電纜的 XIU PKG - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-611-G100	帶 30.5 米（100 英尺）電纜的 XIU PKG - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-612-G15	帶 4.6 米（15 英尺）XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空電纜和 6 英寸 BNC（XIU 至饋入件）電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-612-G30	帶 9.1 米（30 英尺）XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空電纜和 6 英寸 BNC（XIU 至饋入件）電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-612-G50	帶 15.2 米（50 英尺）XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空電纜和 6 英寸 BNC（XIU 至饋入件）電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-612-G100	帶 30.5 米（100 英尺）XIU 電纜的 4 米 XIU - 包括 4 米真空電纜和 6 英寸 BNC（XIU 至饋入件）電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-613-G15	帶 4.6 米（15 英尺）XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空電纜和 20 英寸 BNC（XIU 至饋入件）電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-613-G30	帶 9.1 米（30 英尺）XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空電纜和 20 英寸 BNC（XIU 至饋入件）電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-613-G50	帶 15.2 米（50 英尺）XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空電纜和 20 英寸 BNC（XIU 至饋入件）電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-613-G100	帶 30.5 米（100 英尺）XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空電纜和 20 英寸 BNC（XIU 至饋入件）電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
Oscillator Only	（未隨附電纜）
781-600-G1	XIU（振蕩器）- 用于長度為 15 至 183 厘米（6 至 72 英寸）的 XIU 至傳感器頭電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用
781-600-G2	XIU（振蕩器）- 用于長度為 3 至 4 米（118 至 157 英寸）的 XIU 至傳感器頭電纜 - 與 Cygnus 2 或 IC6 配合使用
Cables
600-1261-P100	30.5 米（100 英尺）電纜，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P15	4.6 米（15 英尺）電纜，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P30	9.1 米（30 英尺）電纜，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P50	15.2 米（50 英尺）電纜，Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
755-257-G6	15.2 厘米（6 英寸）BNC 電纜，XIU 至真空饋入件
Configuration Editor Software
781-620-G1	IC6 Configuration Editor Software - LabVIEW® based Windows® software that allows for offline creation and editing of IC6 configuration files and converts IC/5 configuration files to IC6 format.