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IQM-233 薄膜沉積控制器 PCI-Express 卡

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功能

  • PCI Express
  • 三個(gè)傳感器輸入,三個(gè)控制輸出
  • 在 PC 中安裝多個(gè)卡
  • 多源共沉積
  • 易于進(jìn)行 PLC 集成以增加 I/O 功能
  • 使用方便
  • 物有所值

規(guī)格

類型 IQM-233
PC 接口 PCIe x1 - PCE Express Slot
(Std or SFF)
傳感器輸入和性能  
探頭輸入 3
連接器 SMA - Includes one SMA/BNC adapter
頻率分辨率 (1) ±0.10 Hz @ 6 MHz
測(cè)量頻率范圍 Adjustable:
4.0 MHz minimum
6.1 MHz maximum
厚度和速率分辨率/測(cè)量 (2) ±0.12 Å
測(cè)量周期 0.1 to 2.0 s (adjustable)
輸出  
源輸出 3
連接器 15-pin high density D-sub
信號(hào) 0 to +/- 10 V (dc)
分辨率 15 Bit Plus Sign
阻抗 50 Ω
(1) 0.25 秒測(cè)量間隔的分辨率
(2) 工具/密度 = 100/1,基礎(chǔ)頻率 = 6 赫茲,0.25 秒測(cè)量間隔

零件號(hào)

IQM-233
零件號(hào) 明細(xì)
782-IQM-233-G1 用于標(biāo)準(zhǔn) PCI Express 插槽的 IQM-233 QCM 控制器卡
782-IQM-233-G2 用于小尺寸架構(gòu) (SFF) PCI Express 插槽的 IQM-233 QCM 控制器卡
782-IQS-233 IQS-233 共沉積軟件

附件

名稱 說明
前裝式單傳感器
前裝式雙傳感器
炫酷抽屜單傳感器
炫酷抽屜雙傳感器
薄型雙傳感器
UHV 可烘烤傳感器
濺射傳感器
Easy Rate Single Sensor
零件號(hào) 明細(xì)
Oscillator kits (包括振蕩器和電纜)
783-500-109-10 3 米(10 英尺)振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜和 3 米(10 英尺)BNC 電纜
783-500-109-25 7.6 米(25 英尺)振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜和 7.6 米(25 英尺)BNC 電纜
783-500-109-50 15.2 米(50 英尺)振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜和 15.2 米(50 英尺)BNC 電纜
783-500-109-75 22.8 米(75 英尺)振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜和 22.8 米(75 英尺)BNC 電纜
Oscillator Only (未隨附電纜)
783-500-013 僅 OSC-100 振蕩器(無電纜)
Cables
600-1441-P1 SMA 至 BNC 適配器,用于 IQM-233 傳感器輸入
782-902-011 15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜,公型/母型
782-902-012-10 3 米(10 英尺)BNC 電纜,公型/公型
782-902-012-25 7.6 米(25 英尺)BNC 電纜,公型/公型
782-902-012-50 15.2 米(50 英尺)BNC 電纜,公型/公型
782-902-012-75 22.8 米(75 英尺)BNC 電纜,公型/公型

耗材

名稱 說明
石英監(jiān)控器晶體

手冊(cè)

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